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桌面型納米印系統(tǒng),優(yōu)異的設(shè)計(jì)理念,專門針對(duì)大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、研究所微納米加工研究設(shè)計(jì),配備精密的溫度控制和低壓控制系統(tǒng),使用方便,性能穩(wěn)定可靠;同時(shí)配合專業(yè)設(shè)計(jì)的壓印模板,可實(shí)現(xiàn)各種微納米圖形加工,特征線寬小于20nm;
主要特點(diǎn):
1.桌面型設(shè)計(jì);
2.熱壓印技術(shù);
3.UV壓印技術(shù);
3.模板整合溫度控制;
4.快速升溫、快速降溫,大大縮短熱循環(huán)加工周期;
5.低壓控制技術(shù);
6.自動(dòng)壓入、脫模設(shè)計(jì);
7.適用于各種微納米加工研究(2inch~4inch,其他定制);
8.特征線寬小于20nm;
安裝要求:
1.真空0.4 to 0.8 bar(實(shí)驗(yàn)室真空要求),流速至少1mL/min;
2.壓縮空氣或壓縮氮?dú)?-10 bar;
3.電源:110-240V (50-60 Hz, larger than 200W);
暫無數(shù)據(jù)!