看了YAMATO等離子清洗機PDC200的用戶又看了
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小型桌上型高頻等離子表面處理裝置
■ 操作性·功能
● 射頻13.56Mhz 0-300W高功率機型,發(fā)生器自動匹配,無需調節(jié)反射波,進一步增加的操作的便捷性。
● 標準配備數(shù)字式皮拉尼傳感器,實時顯示真空度,使得控制更為精確。
● 平行平板腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品,無需擔憂因為腔體材質的原因導致樣品受到污染。
■ 安全性·保護
● 裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報警燈,可實時監(jiān)測和了解機器的運轉狀態(tài)。
● 裝載有過電流漏電保護開關、自診斷回路、異常時蜂鳴器報警等安全功能。
■ 產(chǎn)品優(yōu)勢
●等離子清洗機清洗效果好,清洗效率高,功率大,應用范圍廣。
●對清洗樣品,沒有任何材質、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中,溫升很小,基本可達到常溫處理。
●高效的特制電極,是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤結構,可保證樣品可得到全面有效的清洗。
■ 規(guī)格
型號 | PDC200 | |
方式 | RIE模式、平行平板腔體 | |
性能 | 發(fā)生器功率: | 0-300W |
發(fā)生器頻率: | 射頻RF13.56Mhz | |
發(fā)生器匹配方式: | 自動匹配(Auto matching) | |
構成 | 腔體材質: | 鋁制 |
腔體內尺寸: | W400×D250×H150mm | |
反應氣體: | 二路工藝氣體,可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體。 | |
控制方式: | 全自動控制 | |
真空度顯示: | 數(shù)字式皮拉尼傳感器,實時顯示腔體內真空度。 | |
配管材質: | SUS不銹鋼以及特氟龍 | |
門: | 鉸鏈門 | |
外形尺寸: | W540×D600×H600mm | |
真空泵抽速: | 4m3/hour | |
電源規(guī)格: | AC220V 10A | |
重量: | 約100kg |
暫無數(shù)據(jù)!