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        YAMATO光刻膠固化爐
        YAMATO光刻膠固化爐

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        品牌

        產(chǎn)地

        日本

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        暫無
        浚和(上海)儀器有限公司

        會員

        |

        第2年

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        性 能 (依 JTM 規(guī)格 )

        使用溫度范圍 : 室溫 +50~50 0℃

        溫度調(diào)節(jié)精度: ±0. 5℃(at 45 0℃ 無負(fù)荷狀態(tài)下)

        溫度分布精度: ±5℃(at 45 0℃ 無負(fù)荷狀態(tài)下)

        JTM 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定點(diǎn) 根據(jù)有效尺寸 1/6 處,含槽內(nèi)中心點(diǎn)共測量9點(diǎn)

        運(yùn)行: 程序運(yùn)行(升溫 ,恒溫,降溫 ,定時 )

        定時機(jī)能 : 1min~99h59min,100~999h,

        升溫速率 : ≤40min , (150~450℃≥7.5℃/min ,全程平均 )

        潔凈度 : 溫度恒定時 100 級

        氧濃度 : 20 ppm 以下

        真空度 : 100Pa 以下

        真空到達(dá)時間 : 約15min

        工作狀態(tài)指示:觸摸屏上有工作過程(抽真空中 -N2置換中 -氧濃度檢測中-加熱中、 N2維持中 -恒定中 -冷卻中 -抽真空中 -空氣進(jìn)入中 -結(jié)束)

        構(gòu) 造

        外裝材質(zhì) : 冷扎彩鋼板 ,表面噴塑

        內(nèi)裝承壓體材質(zhì) : SUS 316不銹鋼板 ,

        斷熱材 : 硅酸鋁棉板

        加熱器 : 鎧裝不銹鋼加熱管 380V 4.0KwX3=12Kw

        加熱板220V 300 w X 14 = 4.2Kw

        組合式送風(fēng)機(jī) : 離心風(fēng)葉 φ230 X 130-1個,風(fēng)量 L=1800m3/h

        變頻調(diào)速電機(jī)380V (1450/min轉(zhuǎn))

        N2噴管 : N2噴頭

        水冷器 : SUS盤管換熱器

        過濾網(wǎng) : 耐高溫效過濾網(wǎng)HEPA( 過濾率0.3μm粒子99.9995%以上 )

        門 : 單門正前面 ,門開口W660×H 660

        外形尺寸 : 本體 W1150 ×D1215 ×H1697(設(shè)置時、以及突起物除外)

        內(nèi)室尺寸 : W600×D600×H600mm

        容積 : 216 L

        棚受段數(shù) : 17段/30mm (高度方向均分)

        棚板數(shù)量 : 2枚

        N2外接進(jìn)氣接頭 : 快換接頭φ10mm 一個 。

        冷卻水接頭 : 快換接頭φ10mm和φ16mm各一個 。

        測試孔 : 左側(cè) 1個 KF16 溫度分布精測試口、2個內(nèi)螺紋1/4的接頭,用于氧濃度和潔凈度的檢測 。

        電磁閥 : 控制真空、 N2 、水的通斷時序。

        重量 : 320g

        電 源 :AC380V 3φ5W 50Hz 30A以下

        計(jì)裝

        溫度調(diào)節(jié)器 : 液晶觸摸屏加PLC, PID控制,液晶顯示,觸摸按鍵設(shè)置。

        溫度傳感器 : K型熱電偶4支

        壓力控制儀 : 數(shù)字式

        壓力變送器 : 相對值壓力變送器

        壓差計(jì) : 用于測量內(nèi)槽與空調(diào)間之的壓差以此為依據(jù)來判定過濾器是否需清潔。

        變頻 器 : 用與調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速(由觸摸屏設(shè)定風(fēng)機(jī)頻率)

        玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì) : a.300L/min用于快速并保證槽內(nèi)的氧濃度在10ppm以下 。

        b.15-25L/min用于維持槽內(nèi)的氧濃度在10ppm以下,另加預(yù)熱器保證進(jìn)入槽內(nèi)N2溫度在槽內(nèi)設(shè)定溫度,不 干擾槽內(nèi)的均勻度。

        氧濃度分析儀 : 檢測槽內(nèi)氧濃度,20ppm以下在加熱,

        真空泵 : 愛發(fā)科雙級有油旋片式真空泵

        溫度過升防制器 : 用于溫度異常過升的防止,

        電磁閥 : 用于控制抽真空、 N2和冷卻水的開閉。

        強(qiáng)制門鎖緊 : 2處

        保護(hù)裝置

        漏電保護(hù)開關(guān) : 本體 380V 漏電保護(hù)開關(guān)

        漏電,短路,過電流保護(hù)

        額定感度電流 30mA

        過熱防止回路 : 溫度異常過升時,加熱器電源斷開、電機(jī)風(fēng)葉動作,并報警

        送風(fēng)機(jī)電機(jī): 當(dāng)電機(jī)過負(fù)荷時、加熱器電源斷開保護(hù)回路,并報警

        N2異常 : 氮?dú)饬髁坎蛔?,加熱停止,并報?/span>

        冷卻水異常 : 流量不足,報警

        門鎖 : 工作時門自動鎖

        門開關(guān) : 門未關(guān)閉好,機(jī)器不會啟動,按啟動鍵,給出報警。

        異常顯示 : 當(dāng)上述異常發(fā)生時、觸摸屏上報警提示框異常顯示故障內(nèi)容 ,蜂鳴器響。

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        易用性

        10分

        性價比

        10分
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