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        日本YAMATO等離子清洗機PR200
        日本YAMATO等離子清洗機PR200

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        面議

        型號

        品牌

        產(chǎn)地

        日本

        樣本

        暫無
        浚和(上海)儀器有限公司

        會員

        |

        第2年

        |

        生產(chǎn)商

        工商已核實

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        操作性·功能

        ● 射頻13.56Mhz 0-200W高功率機型,發(fā)生器自動匹配,無需調(diào)節(jié)反射波,進一步增加的操作的便捷性。

        ● 標準配備數(shù)字式皮拉尼傳感器,實時顯示真空度,使得控制更為精確。

        ● 高硼硅玻璃腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的精元、硅片等樣品,無需擔憂因為腔體材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?/span>

        ■ 安全性·保護

        ● 裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報警燈,可實時監(jiān)測和了解機器的運轉(zhuǎn)狀態(tài)。

        ● 裝載有過電流漏電保護開關(guān)、自診斷回路、異常時蜂鳴器報警等安全功能。

        ■ 產(chǎn)品優(yōu)勢

        ●等離子清洗機清洗效果好,清洗過程中無廢液產(chǎn)生,安全環(huán)保。

        ●幾乎所有的材質(zhì)樣品都可以進行等離子清洗。

        ●等離子清洗過程中,溫升很小,基本可達到常溫處理。

        ●高效的特制電極,保證等離子體能夠均勻產(chǎn)生。

        規(guī)格:

        型號

        PR200

        PR301

        方式

        DP模式、圓柱形腔體

        性能

        發(fā)生器功率:

        0-200W

        0-300W

        發(fā)生器頻率:

        射頻RF13.56Mhz

        發(fā)生器匹配方式:

        自動匹配(Auto matching)

        手動匹配(manul

        構(gòu)成

        腔體材質(zhì):

        高硼硅玻璃

        腔體內(nèi)尺寸:

        φ100×L160mm

        φ118×L160mm

        反應(yīng)氣體:

        一路工藝氣體,可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體。

        控制方式:

        半自動控制

        真空度顯示:

        數(shù)字式皮拉尼傳感器,實時顯示腔體內(nèi)真空度。

        模擬式壓力表

        配管材質(zhì):

        SUS不銹鋼以及特氟龍

        門:

        鉸鏈門

        外形尺寸:

        W350×D400×H500mm

        W438×D520×H630mm

        真空泵抽速:

        4m3/hour

        電源規(guī)格:

        AC220V 10A

        重量:

        25kg

        34kg

        附屬品

        真空管件一套、真空轉(zhuǎn)接接頭一套、試料托盤一枚。

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        售后服務(wù)

        10分

        易用性

        10分

        性價比

        10分
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