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■ 操作性·功能
● 射頻13.56Mhz 0-200W高功率機(jī)型，發(fā)生器自動匹配，無需調(diào)節(jié)反射波，進(jìn)一步增加的操作的便捷性。
● 標(biāo)準(zhǔn)配備數(shù)字式皮拉尼傳感器，實(shí)時顯示真空度，使得控制更為精確。
● 高硼硅玻璃腔體非常適合于實(shí)驗(yàn)室處理比較純凈的精元、硅片等樣品，無需擔(dān)憂因?yàn)榍惑w材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?/span>
■ 安全性·保護(hù)
● 裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報(bào)警燈，可實(shí)時監(jiān)測和了解機(jī)器的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。
● 裝載有過電流漏電保護(hù)開關(guān)、自診斷回路、異常時蜂鳴器報(bào)警等安全功能。
■ 產(chǎn)品優(yōu)勢
●等離子清洗機(jī)清洗效果好，清洗過程中無廢液產(chǎn)生，安全環(huán)保。
●幾乎所有的材質(zhì)樣品都可以進(jìn)行等離子清洗。
●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達(dá)到常溫處理。
●高效的特制電極，保證等離子體能夠均勻產(chǎn)生。
規(guī)格：
型號 | PR200 | PR301 | |||
方式 | DP模式、圓柱形腔體 | ||||
性能 | 發(fā)生器功率： | 0-200W | 0-300W | ||
發(fā)生器頻率： | 射頻RF13.56Mhz | ||||
發(fā)生器匹配方式： | 自動匹配（Auto matching) | 手動匹配（manul） | |||
構(gòu)成 | 腔體材質(zhì)： | 高硼硅玻璃 | |||
腔體內(nèi)尺寸： | φ100×L160mm | φ118×L160mm | |||
反應(yīng)氣體： | 一路工藝氣體，可支持氧氣、氬氣、氮?dú)獾确歉g性氣體。 | ||||
控制方式： | 半自動控制 | ||||
真空度顯示： | 數(shù)字式皮拉尼傳感器，實(shí)時顯示腔體內(nèi)真空度。 | 模擬式壓力表 | |||
配管材質(zhì)： | SUS不銹鋼以及特氟龍 | ||||
門： | 鉸鏈門 | ||||
外形尺寸： | W350×D400×H500mm | W438×D520×H630mm | |||
真空泵抽速： | 4m3/hour | ||||
電源規(guī)格： | AC220V 10A | ||||
重量： | 約25kg | 約34kg | |||
附屬品 | 真空管件一套、真空轉(zhuǎn)接接頭一套、試料托盤一枚。 | ||||
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