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高真空檢漏儀采用高分辨顯微鏡平臺(tái)，xy軸微運(yùn)動(dòng)集成，以及高分辨電子相機(jī)和顯示屏，完全契合電鏡使用，具有極高的直接壓力分辨率和泄漏檢測靈敏度，并具有強(qiáng)大的擴(kuò)展輸入和輸出、多通道參數(shù)設(shè)置和選擇、大容量記錄和存儲(chǔ)、通信處理、質(zhì)量檢測、數(shù)據(jù)傳輸?shù)墓δ艿鹊?。檢測靈敏度高，位置精確，操作便捷。

技術(shù)參數(shù)：

1)整體尺寸：L*W*H=600*600*1250，柜臺(tái)高805（單位：mm），以實(shí)物為準(zhǔn)。

2)壓力范圍：0-1000mbar。

3)適用電鏡樣品臺(tái)：FEI、JEOL、Hitachi（適配）

4)適用原位反應(yīng)艙芯片：自組裝鍵合一體式芯片，加熱芯片，納流體芯片。

5)極限真空小于等于1×10^-6 mBar，原位樣品臺(tái)檢漏操作真空度小于等于8×10^-5 mBar。

6)接口模塊含控制閥門，以在電源關(guān)閉時(shí)保持真空狀態(tài)，或在檢漏完成，實(shí)現(xiàn)檢漏模塊氣體通入，加速樣品臺(tái)取出過程。

7)數(shù)字顯微系統(tǒng)分辨率優(yōu)于1微米，幀率大于等于30幀/秒。