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TESCAN SOLARIS 新一代超高分辨鎵離子FIB-SEM

TESCAN SOLARIS 是一款鎵離子源的 FIB-SEM 系統(tǒng)，適用于超薄 TEM 樣品制備和其它具有挑戰(zhàn)性的納米加工任務(wù)，這些任務(wù)要求設(shè)備具有**的分辨率、***的離子光學(xué)系統(tǒng)和**的納米加工能力。

TESCAN SOLARIS 的 Triglav™ 型 SEM 鏡筒具有超高的分辨率，特別是在低電壓下；鏡筒內(nèi)探測(cè)器系統(tǒng)具有電子信號(hào)過濾能力，為獲得更好的圖像襯度和表面靈敏度翻開了全新的篇章。TESCAN SOLARIS 的 Orage™ 型 FIB 鏡筒保證了出色的低電壓離子束分辨率和微加工性能，可以滿足制備小于 20 nm 的、**質(zhì)量的半導(dǎo)體器件超薄 TEM 樣品的需要。此外，高達(dá) 100 nA 的大離子束流可以對(duì)生物樣品和材料進(jìn)行指定位置的、大體積 FIB-SEM 逐層掃描，圖像也具有出色的襯度。

TESCAN SOLARIS 使用了全新的 Essence™ 軟件，軟件用戶界面友好，可以滿足各類應(yīng)用需求，可定制的軟件布局以及自動(dòng)化的樣品制備功能，**限度地提升了操作便捷性和工作效率。

TESCAN SOLARIS Ga FIB-SEM 突出特點(diǎn)：

1. 可選擇性采集能量過濾后的電子信號(hào)，獲得更好的表面靈敏度和襯度

2. 離子束流變化范圍大，滿足不同精度、體積要求的樣品加工任務(wù)

3. *低電壓可達(dá) 500 eV，能夠獲得小于 20 nm 且具有極高品質(zhì)的超薄 TEM 樣品

4. FIB-SEM 層析成像的同時(shí)，可獲得 EDS 和 EBSD 數(shù)據(jù)，快速進(jìn)行 3D 超微結(jié)構(gòu)研究和微量分析表征

TESCAN SOLARIS Ga FIB-SEM 主要優(yōu)勢(shì)：

新一代 Triglav™ 鏡筒中的鏡筒內(nèi)探測(cè)器系統(tǒng)經(jīng)過進(jìn)一步優(yōu)化，信號(hào)檢測(cè)效率提高了三倍以上。此外，該系統(tǒng)還擴(kuò)展了檢測(cè)能力，能夠采集能量過濾后的軸向背散射電子信號(hào)，通過選擇性地收集低損耗背散射電子來獲得更好的襯度和表面靈敏度。

*世界一流的樣品制備質(zhì)量

Orage™FIB 鏡筒采用先進(jìn)的離子光學(xué)設(shè)計(jì)，在整個(gè)電壓范圍內(nèi)均可以保證優(yōu)秀的分辨率，同時(shí)還可以提供多種樣品制備條件。低電壓下的出色性能使得該 FIB 鏡筒可以執(zhí)行**挑戰(zhàn)性的納米加工任務(wù)，它可以在低電壓下完成*后拋光并獲得小于 20 nm 且具有極高品質(zhì)的超薄 TEM 樣品。

* 增強(qiáng)的表面靈敏度、襯度

新一代 Triglav™ 鏡筒具有電子信號(hào)選擇檢測(cè)功能，這一功能可以幫助用戶獲得更好的表面靈敏度并能夠獲得不同的襯度。圖像中可以體現(xiàn)形貌或是材料成分，也可以同時(shí)體現(xiàn)這兩者，以便用戶能夠在*短時(shí)間內(nèi)**限度地觀察樣品。

* **限度地制備各類樣品

Orage™ 鏡筒能夠產(chǎn)生高達(dá) 100 nA 的離子束流，同時(shí)保證離子束的質(zhì)量。因此，無論是在低離子束流下制備精密的納米結(jié)構(gòu)，還是利用高離子束流以滿足大體積蝕刻的要求，Orage™ 鏡筒****的多功能性都可以滿足該類應(yīng)用需求。

* 保證**的分析條件

新一代 Triglav™ 鏡筒還具有自適應(yīng)束斑優(yōu)化功能，可以提高了大束流下的分辨率，這一特點(diǎn)有利于更好的進(jìn)行 EDS、WDS 和 EBSD 等分析。此外，肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍能夠產(chǎn)生高達(dá) 400 nA 的電子束流，電壓也可以快速改變并保證在所有的分析應(yīng)用下都能夠獲得良好的信號(hào)；在進(jìn)行大離子束流加工時(shí)，也可針對(duì)不導(dǎo)電試樣進(jìn)行電荷中和。

* 更充分的利用離子束

快速、高效、高性能的氣體注入系統(tǒng)（GIS）對(duì)于所有 FIB 應(yīng)用都是必不可少的。新一代 OptiGIS™ 單支氣體注入系統(tǒng)具備了所有的這些特性，TESCAN SOLARIS 可配備多達(dá) 6 支 OptiGIS。您也可以選擇集成了 5 支同軸噴嘴的氣體注入系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)更多樣化的功能。此外，我們還可以提供不同的特殊氣體和實(shí)用的平面IC去層方案。

*快速三維分析功能

新型強(qiáng)化的鏡筒內(nèi)探測(cè)系統(tǒng)結(jié)合高達(dá) 100 nA 的大離子束流，可實(shí)現(xiàn)快速數(shù)據(jù)采集，用于 3D 超微結(jié)構(gòu)研究和 3D 微量分析表征。在 FIB-SEM 層析成像過程中，能夠同時(shí)獲得 EDS 和 EBSD 數(shù)據(jù)，并通過專用軟件進(jìn)行三維重構(gòu)，為生命科學(xué)或納米材料研究者提供獨(dú)特的視角和結(jié)果。

* 輕松實(shí)現(xiàn)**精度和** FIB 性能

Orage™ 型 FIB 鏡筒配有超穩(wěn)定的高壓單元和精確的壓電驅(qū)動(dòng)光闌變換器，可在 FIB 預(yù)設(shè)的參數(shù)上快速且高精度的重復(fù)切換。 此外，半自動(dòng)的束斑優(yōu)化向?qū)г试S用戶輕松選擇**的束斑，優(yōu)化特定應(yīng)用下的 FIB 條件。

* TESCAN SOLARIS 是 S9000G 升級(jí)機(jī)型。