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稀釋氣質(zhì)量流量計(jì)可控制到0-10SLM；
源氣質(zhì)量流量計(jì)可控制到0-100SCCM；
2路校準(zhǔn)口入口和1路吹掃口；
1路稀釋氣入口，3路輸出口和1路排空口
稀釋入口：1路標(biāo)準(zhǔn)；
源氣入口：1路標(biāo)準(zhǔn)，1路吹掃；
稀釋流量：0-10SLM（0-20SLM可選）；
源氣流量：0-100SCCM（0-2SLM可選）；
流量精度：≤1%FS；
流量重復(fù)：≤±0.15%FS；
線性：≤±0.5%FS；
響應(yīng)時(shí)間：<1分鐘；
操作：按鍵，鍵盤，串口，USB，以太網(wǎng)；
校準(zhǔn)定義：20個(gè)工廠配置流路，每個(gè)流路可**20個(gè)線性點(diǎn)；
校準(zhǔn)類型：稀釋氣，臭氧，GPT；
儀器特點(diǎn)：
操作簡(jiǎn)單，方便；
溫度顯示穩(wěn)定，可靠；
壓力可調(diào)，面板帶壓力表；
可方便地放入滲透管。
性能參數(shù)
溫度控制：基于微處理器的比例溫控系統(tǒng)；
溫度傳感器：RTD;
前面板安裝：調(diào)壓器，壓力表，溫控器，稀釋爐入口
特氟龍爐身尺寸：內(nèi)徑3.09cm，長(zhǎng)度12.7cm，
溫控范圍：高于環(huán)境溫度2℃到65℃，
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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