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儀器特點(diǎn)：
稀釋氣質(zhì)量流量計(jì)可控制到0-10SLM；
源氣質(zhì)量流量計(jì)可控制到0-100SCCM；
2路校準(zhǔn)口入口和1路吹掃口；
1路稀釋氣入口，3路輸出口和1路排空口；
42個(gè)按鍵薄膜鍵盤(pán)；
8位數(shù)字輸入/輸出，1路串行輸出；
彩色大屏顯示，
性能參數(shù)：
稀釋入口：1路標(biāo)準(zhǔn)；
源氣入口：1路標(biāo)準(zhǔn)，1路吹掃；
稀釋流量：0-10SLM(0-20SLM可選)；
源氣流量：0-100SCCM（0-2SLM可選）；
流量精度：<1%FS；
流量重復(fù)：<±0.15%FS；
線性：<±0.5%FS；
入口壓力：12-35PSIG；
集成輸出：3路輸出，1路放空（1路滲透端可選）；
操作：42按鍵薄膜鍵盤(pán)手動(dòng)輸入或外接鍵盤(pán)；
校準(zhǔn)定義：20個(gè)工廠配置流路，每個(gè)流路可**20個(gè)線性點(diǎn)；
校準(zhǔn)類型：稀釋氣，臭氧，GPT；
氣體定義：1路稀釋氣，20路源氣；
自動(dòng)校準(zhǔn)：可驅(qū)動(dòng)20路定時(shí)程序，用戶可自定義；
數(shù)字輸入/輸出：可使用觸點(diǎn)觸發(fā)或TTL邏輯控制的8位校準(zhǔn)功能；
通訊：RS232，以太網(wǎng)TCP/IP可選；
溫度：5-40℃；
外形尺寸：156mm（H）×364mm(W)×316 mm (D)；
51，51);font-size:10.5000pt;" >天事件，用戶可自定義；
重量：8.6kg；
電源：98-264VAC，100VA，50/60HZ。
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