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產(chǎn)品介紹:
反應(yīng)艙:
材料:鋁
有效尺寸:700 x 700 x 1000mm
容積:490升
艙門:裝有可視窗口
托盤:8個(gè)。尺寸:591 x 697 x 40mm
真空度測(cè)量:
皮拉尼真空計(jì)(利用電阻絲隨溫度的變化而電阻隨之變化的原理來(lái)測(cè)量的,而電阻絲溫度的變化又與其周圍氣體的熱導(dǎo)率有關(guān))
真空泵:
旋片式真空泵;480m3 每小時(shí)的機(jī)械增壓泵。
頻射發(fā)生器:
0~2500w可調(diào),100KHZ發(fā)生器
控制系統(tǒng):
觸摸屏操作,PLC控制系統(tǒng)
PLC可實(shí)現(xiàn)下列功能:
1、自動(dòng)控制反應(yīng)過(guò)程;
2、根據(jù)處理材料設(shè)定不同的處理工藝流程;
3、測(cè)定真空泵壓力、抽真空時(shí)間、充氣速度、工作壓力、處理時(shí)間、溫度、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標(biāo);
4、監(jiān)測(cè)所有的運(yùn)行指標(biāo),保證在設(shè)定范圍之內(nèi);
5、 設(shè)定操作、維護(hù)密碼。
電源:
380V AC、三相、50Hz、40A.
反應(yīng)氣體:
一個(gè)氣體輸入端口,含氣體流量控制器(MFC);根據(jù)用戶需要,可擴(kuò)展
氣體輸入:
直徑1/4''(0.645厘米) 管道;輸入壓力:1Bar.
尾氣排放:
直徑38mm 輸出端口。
安全性能:
急停開(kāi)關(guān);真空泵保護(hù)鎖;高溫保護(hù)鎖;CE安全認(rèn)證。
可選件:
頻射發(fā)生器:2.45GHZ, 13.56MHZ
多個(gè)氣體輸入管道。
根據(jù)客戶工藝要求制作的軟件程序
根據(jù)客戶要求制作的托盤。
輥輪式載料系統(tǒng)。
N2 Purge.
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