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Best tools 勻膠顯影一體機(jī) SC100D
圖片
簡(jiǎn)介
SC100D勻膠顯影機(jī)是在SC100標(biāo)準(zhǔn)型勻膠機(jī)的基礎(chǔ)上增加了顯影系統(tǒng)，被設(shè)計(jì)為用來(lái)處理小片至8英寸晶圓尺寸基板或7英寸方形基板的勻膠及顯影。
SC100D在SC100勻膠機(jī)上增加了顯影液防濺罩，可配備四路噴淋系統(tǒng)，包括顯影液和去離子水等，以及滿足客戶(hù)其他工藝要求的試劑。每一路自動(dòng)噴液系統(tǒng)包括：噴嘴、噴嘴支架、氣體控制閥、控制器、壓力桶和配套連接管路等部件。
SC100D使用工業(yè)級(jí)伺服馬達(dá)和PLC控制，7寸全彩觸屏人機(jī)操作界面。設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單易用，可進(jìn)行程控操作，具有優(yōu)異的性?xún)r(jià)比。
規(guī)格參數(shù)
項(xiàng)目 | 參數(shù) |
基板zui大直徑 | 8英寸 |
轉(zhuǎn)速 | 0~10000RPM可調(diào) |
轉(zhuǎn)速控制精度 | 1RPM |
加速度 | 10-50000RPM/S（空載） |
程序 | 可編程100組100步程序 |
運(yùn)轉(zhuǎn)zui大時(shí)長(zhǎng) | 3000S |
時(shí)間設(shè)置精度 | 0.1S |
顯示 | 7”全彩觸摸屏 |
機(jī)體材料 | HDPE內(nèi)腔，SUS外殼，耐溶劑PC透明蓋 |
功能圖解
SC100D 外形尺寸
應(yīng)用系統(tǒng)
PDMS芯片制作
MEMS器件加工
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