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重新構(gòu)想的大批量自動化 S/TEM 成像和測量技術(shù)成像和計量技術(shù)

快速、準確的數(shù)據(jù)精準的數(shù)據(jù)。Metrios DX 是一款徹底重新設(shè)計的 80-200 kV 掃描 / 透射電子顯微鏡，能夠以****的吞吐量提供基于 TEM 和 S/TEM 的、可重復(fù)的成像、分析和可測量計量結(jié)果。

Thermo Scientific™ Metrios™ DX TEM 將成熟的技術(shù)和創(chuàng)新的功能**結(jié)合，是需要對日益復(fù)雜的結(jié)構(gòu)和更小的尺寸進行更大量精確測量的半導(dǎo)體和內(nèi)存環(huán)境的**平臺是半導(dǎo)體和存儲環(huán)境對先進制程日益復(fù)雜的結(jié)構(gòu)和不斷縮小的尺寸進行大量精準測量的**平臺。

與傳統(tǒng) S/TEM 系統(tǒng)相比電子顯微鏡相比，Metrios DX TEM 能夠以每樣品低得多的成本提供“一次即準確的”數(shù)據(jù)能夠以更低的每樣品成本提供“**即準確” 的數(shù)據(jù)。Metrios DX TEM 提供極高的吞吐量，同時可以**限度地減少射束損傷。Thermo Scientific Dual-X™ EDS 系統(tǒng)獨有的能譜儀獨有的1.8 srad 立體角成倍增加了成倍增加了Super-X 能譜儀系統(tǒng)上的 X 射線計數(shù)計數(shù)。自動探針校正器可以在自動球差校正器可以保持1周以上的時間內(nèi)使 3 階或更高階像差保持穩(wěn)定階或更高階像差穩(wěn)定一周以上，同時可全自動對焦、校正像散、像差和 3 倍像散。Metrios DX TEM 可以在 80kV 下全自動運行，與在 200kV 下運行的 Super-X 相比，EDS 吞吐量吞吐量可實現(xiàn) 4倍X提升，同時顯著減小射束損傷。

主要優(yōu)勢:

一致、可重復(fù)、精確，可重復(fù)、徹底重新設(shè)計，可提供基于 TEM 和 S/TEM 的可重復(fù)的成像、分析和可測量計量結(jié)果，免于人工操作誤差不會出現(xiàn)操作誤差

有保證的計量精度，TEM 和 S/TEM 的失真和放大倍數(shù)校準組合誤差小于 1%

自動 EDS 和混合測量技術(shù)，自動采集和量化 EDS 數(shù)據(jù)。對主要關(guān)鍵尺寸使用元素對比來測量以擴展 STEM

工作流環(huán)環(huán)相扣，在樣品制備、挖蝕和成像過程中跟蹤關(guān)鍵流程數(shù)據(jù)提取和成像過程中跟蹤關(guān)鍵流程數(shù)據(jù)。可以離線使用測量技術(shù)，**限度地延長機臺工具的數(shù)據(jù)采集時間。所有成像和計量數(shù)據(jù)均在基于 Web 的圖像查看器中進行合并統(tǒng)一。