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IXRF成立于1993年,位于美國(guó)德克薩斯州,專注于精確地微區(qū)痕量元素分析產(chǎn)品,包括能譜儀(EDS)和X射線熒光(XRF)。
本產(chǎn)品是把高性能的微型X射線管(兩種可選)安裝在SEM上,利用能譜儀探測(cè)器來(lái)接受信號(hào),從而將XRF整合進(jìn)SEM+EDS系統(tǒng)中,結(jié)合了EDS和XRF兩者的優(yōu)勢(shì),使其在元素分析方面有自己的獨(dú)特之處,XRF分析具有對(duì)樣品無(wú)破壞、可直接分析不導(dǎo)電樣品、靈敏度更高,能實(shí)現(xiàn)PPM量級(jí)分析等優(yōu)點(diǎn),這是其它能譜產(chǎn)品所不具有的。這種SEM+EDS+XRF的元素分析方案目前已經(jīng)在美國(guó)得到廣泛推廣和應(yīng)用。
★更高的峰背比,重疊峰少,靈敏度是EDS的10-1000倍,可以實(shí)現(xiàn)PPM級(jí)的痕量分析。
★兩種型號(hào)的X射線管,很好的兼容性,可以與任意廠家的能譜探測(cè)器搭配。
兩種X射線發(fā)生器參數(shù):
X射線管 | fX-SEMTM | X-BeamTM |
陽(yáng)極類型 | 底窗穿透型 | 側(cè)窗型 |
靶材料 | Ag, Mo, & W | Ag, Cu, Mo, Rh & W |
加速電壓 | 10-35kV | 0-50kV |
束流 | 0-100μA | **1mA |
陽(yáng)極束斑大小 | <500μm | 10, 40μm |
準(zhǔn)直器大小 | 200μm, 500μm, 1000μm(或其他) | **的多毛細(xì)管聚焦光學(xué)系統(tǒng) |
濾波片 | 根據(jù)需求可安裝 | 根據(jù)需求可安裝 |
冷卻需求 | 傳導(dǎo)冷卻,不用風(fēng)冷 | 功率>10瓦時(shí),風(fēng)冷;其余傳導(dǎo)冷卻 |
控制性/安全性 | 可控kV/μA、X射線開(kāi)關(guān)、kV/μA顯示;與SEM互鎖、鍵控電源開(kāi)關(guān)、與高壓電源互鎖、高壓警示 | 可控kV/μA、X射線開(kāi)關(guān)、kV/μA顯示、內(nèi)部互鎖閥;鍵控電源開(kāi)關(guān)、高壓警示 |
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