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HM5-160全自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)品牌
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廣東樣本
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1、高速度、高精度測(cè)量系統(tǒng)。 2、**160mm*160mm范圍自動(dòng)測(cè)量。 3、重復(fù)測(cè)量精度≦0.5μm。 4、適用高反光、高透光材料。 5、數(shù)據(jù)重復(fù)測(cè)量的一致性。 6、測(cè)量膜厚、線寬、平面度等。
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