參考價(jià)格
面議型號(hào)
AFM5500M品牌
日立產(chǎn)地
日本樣本
暫無誤差率:
0.02%分辨率:
99.98%重現(xiàn)性:
±0.5°儀器原理:
其他分散方式:
激光檢測測量時(shí)間:
5測量范圍:
200 μm x 200 μm x 15 μm看了全自動(dòng)型原子力顯微鏡 AFM5500M的用戶又看了
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AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高,配備4英寸自動(dòng)馬達(dá)臺(tái)的全自動(dòng)型原子力顯微鏡。設(shè)備在懸臂更換,激光對(duì)中,測試參數(shù)設(shè)置等環(huán)節(jié)上提供全自動(dòng)操作平臺(tái)。新開發(fā)的高精度掃描器和低噪音3軸感應(yīng)器使測量精度大幅提高。并且,通過SEM-AFM共享坐標(biāo)樣品臺(tái)可輕松實(shí)現(xiàn)同一視野的相互觀察?分析。
高度集成自動(dòng)化功能追求高效率檢測
降低檢測中的人為操作誤差
大范圍水平掃描
采用管型掃描器的原子力顯微鏡,針對(duì)掃描器圓弧運(yùn)動(dòng)所產(chǎn)生的曲面,通常通過軟件校正方式獲得平面數(shù)據(jù)。但是,用軟件校正方式不能完全消除掃描器圓弧運(yùn)動(dòng)的影響,圖片上經(jīng)常發(fā)生扭曲效果。
AFM5500M搭載了**研發(fā)的水平掃描器,可實(shí)現(xiàn)不受圓弧運(yùn)動(dòng)影響的準(zhǔn)確測試。
高精角度測量
普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器,在豎直伸縮的時(shí)候,會(huì)發(fā)生彎曲(crosstalk)。這是圖像在水平方向產(chǎn)生形貌誤差的直接原因。
AFM5500M中搭載的全新掃描器,在豎直方向上不會(huì)發(fā)生彎曲(crosstalk) ,可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。
通過SEM-AFM的共享坐標(biāo)樣品臺(tái),可實(shí)現(xiàn)在同一視野快速的觀察?分析樣品的表面形貌,結(jié)構(gòu),成分,物理特性等。
通過分析AFM圖像可以判斷,SEM對(duì)比度表征石墨烯層的厚薄。
石墨烯層數(shù)不同導(dǎo)致表面電位(功函數(shù))的反差。
SEM圖像對(duì)比度不同,可以通過SPM的高精度3D形貌測量和物理特性分析找到其原因。
馬達(dá)臺(tái) | 自動(dòng)精密馬達(dá)臺(tái) **觀察范圍:100 mm (4英寸)全域 馬達(dá)臺(tái)移動(dòng)范圍:XY ± 50 mm、Z ≥21 mm *小步距:XY 2 μm、Z 0.04 μm |
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**樣品尺寸 | 直徑:100 mm(4英寸)、厚度:20 mm 樣品重量:2 kg |
掃描范圍 | 200 μm x 200 μm x 15 μm (XY:閉環(huán)控制 / Z:感應(yīng)器監(jiān)控) |
RMS噪音水平* | 0.04 nm 以下(高分辨率模式) |
復(fù)位精度* | XY: ≤15 nm(3σ、計(jì)量10 μm的標(biāo)準(zhǔn)間距) / Z: ≤1 nm (3σ、計(jì)量100 nm 的標(biāo)準(zhǔn)深度) |
XY直角度 | ±0.5° |
BOW* | 2 nm/50 μm 以下 |
檢測方式 | 激光檢測(低干涉光學(xué)系統(tǒng)) |
光學(xué)顯微鏡 | 放大倍率:x1 ~ x7 視野范圍:910 μm x 650 μm ~ 130 μm x 90 μm 顯示倍率:x465 ~ x3,255(27英寸顯示器) |
減震臺(tái) | 臺(tái)式主動(dòng)減震臺(tái) 500 mm(W) x 600 mm (D) x 84 mm (H)、約28 kg |
防音罩 | 750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、 約 237 kg |
大小?重量 | 400 mm(W) x 526 mm(D) x 550 mm(H)、約 90 kg |
* 參數(shù)與設(shè)備配置及放置環(huán)境相關(guān)。
OS | Windows7 |
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RealTune?II | 自動(dòng)調(diào)節(jié)懸臂振幅、接觸力、掃描速率以及信號(hào)反饋 |
操作畫面 | 操作導(dǎo)航功能、多窗口顯示功能(測試/分析)、3D圖像疊加功能、掃描范圍/測量履歷顯示功能、數(shù)據(jù)批處理分析功能、探針評(píng)估功能 |
X, Y, Z掃描驅(qū)動(dòng)電壓 | 0~150 V |
時(shí)時(shí)測試(像素點(diǎn)) | 4畫面(**2,048 x 2,048) 2畫面(**4,096 x 4,096) |
長方形掃描 | 2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1,024:1 |
分析軟件 | 3D顯示功能、粗糙度分析、截面分析、平均截面分析 |
自動(dòng)控制功能 | 自動(dòng)更換懸臂、自動(dòng)激光對(duì)中 |
大小?重量 | 340 mm(W) x 503 mm(D) x 550 mm(H)、約 34 kg |
電源 | AC100 ~ 240 V ±10% 交流 |
測試模式 | 標(biāo)配:AFM、DFM、PM(相位)、FFM 選配:SIS形貌、SIS物理特性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM(AC)、EFM(DC)、MFM |
* WINDOWS 是、美國 Microsoft Corporation 在美國及美國以外國家注冊(cè)商標(biāo)。
* RealTune是日立高新科學(xué)公司在日本、美國以及歐洲的注冊(cè)商標(biāo)。
可適用的日立SEM型號(hào) | SU8240、SU8230(H36 mm型)、SU8220(H29 mm型) |
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樣品臺(tái)大小 | 41 mm(W) x 28 mm(D) x 16 mm (H) |
**樣品尺寸 | Φ20 mm x 7 mm |
對(duì)中精度 | ±10 μm (AFM對(duì)中精度) |
暫無數(shù)據(jù)!