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        全自動(dòng)型原子力顯微鏡 AFM5500M
        全自動(dòng)型原子力顯微鏡 AFM5500M

        參考價(jià)格

        面議

        型號(hào)

        AFM5500M

        品牌

        日立

        產(chǎn)地

        日本

        樣本

        暫無
        蘇州科蒂斯懷特工業(yè)設(shè)備有限公司

        會(huì)員

        |

        第4年

        |

        代理商

        工商已核實(shí)

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        核心參數(shù)
        • 誤差率:

          0.02%
        • 分辨率:

          99.98%
        • 重現(xiàn)性:

          ±0.5°
        • 儀器原理:

          其他
        • 分散方式:

          激光檢測
        • 測量時(shí)間:

          5
        • 測量范圍:

          200 μm x 200 μm x 15 μm
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        AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高,配備4英寸自動(dòng)馬達(dá)臺(tái)的全自動(dòng)型原子力顯微鏡。設(shè)備在懸臂更換,激光對(duì)中,測試參數(shù)設(shè)置等環(huán)節(jié)上提供全自動(dòng)操作平臺(tái)。新開發(fā)的高精度掃描器和低噪音3軸感應(yīng)器使測量精度大幅提高。并且,通過SEM-AFM共享坐標(biāo)樣品臺(tái)可輕松實(shí)現(xiàn)同一視野的相互觀察?分析。


        1. 自動(dòng)化功能

        • 高度集成自動(dòng)化功能追求高效率檢測

        • 降低檢測中的人為操作誤差

        . 可靠性

        排除機(jī)械原因造成的誤差

        • 大范圍水平掃描

        • 采用管型掃描器的原子力顯微鏡,針對(duì)掃描器圓弧運(yùn)動(dòng)所產(chǎn)生的曲面,通常通過軟件校正方式獲得平面數(shù)據(jù)。但是,用軟件校正方式不能完全消除掃描器圓弧運(yùn)動(dòng)的影響,圖片上經(jīng)常發(fā)生扭曲效果。
          AFM5500M搭載了**研發(fā)的水平掃描器,可實(shí)現(xiàn)不受圓弧運(yùn)動(dòng)影響的準(zhǔn)確測試。

        • 高精角度測量

        • 普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器,在豎直伸縮的時(shí)候,會(huì)發(fā)生彎曲(crosstalk)。這是圖像在水平方向產(chǎn)生形貌誤差的直接原因。
          AFM5500M中搭載的全新掃描器,在豎直方向上不會(huì)發(fā)生彎曲(crosstalk) ,可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。

        3. 融合性

        親密融合其他檢測分析方式

        通過SEM-AFM的共享坐標(biāo)樣品臺(tái),可實(shí)現(xiàn)在同一視野快速的觀察?分析樣品的表面形貌,結(jié)構(gòu),成分,物理特性等。

        • 通過分析AFM圖像可以判斷,SEM對(duì)比度表征石墨烯層的厚薄。

        • 石墨烯層數(shù)不同導(dǎo)致表面電位(功函數(shù))的反差。

        • SEM圖像對(duì)比度不同,可以通過SPM的高精度3D形貌測量和物理特性分析找到其原因。

        AFM5500M 主機(jī)
        馬達(dá)臺(tái)自動(dòng)精密馬達(dá)臺(tái)
        **觀察范圍:100 mm (4英寸)全域
        馬達(dá)臺(tái)移動(dòng)范圍:XY ± 50 mm、Z ≥21 mm
        *小步距:XY 2 μm、Z 0.04  μm
        **樣品尺寸直徑:100 mm(4英寸)、厚度:20 mm
        樣品重量:2 kg
        掃描范圍200 μm x 200 μm x 15 μm (XY:閉環(huán)控制 / Z:感應(yīng)器監(jiān)控)
        RMS噪音水平*0.04 nm 以下(高分辨率模式)
        復(fù)位精度*XY: ≤15 nm(3σ、計(jì)量10  μm的標(biāo)準(zhǔn)間距) / Z: ≤1 nm (3σ、計(jì)量100 nm 的標(biāo)準(zhǔn)深度)
        XY直角度±0.5°
        BOW*2 nm/50 μm 以下
        檢測方式激光檢測(低干涉光學(xué)系統(tǒng))
        光學(xué)顯微鏡放大倍率:x1 ~ x7
        視野范圍:910 μm x 650 μm ~ 130 μm x 90 μm
        顯示倍率:x465 ~ x3,255(27英寸顯示器)
        減震臺(tái)臺(tái)式主動(dòng)減震臺(tái) 500 mm(W) x 600 mm (D) x 84 mm (H)、約28 kg
        防音罩750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、 約 237 kg
        大小?重量400 mm(W) x 526 mm(D) x 550 mm(H)、約 90 kg
        • * 參數(shù)與設(shè)備配置及放置環(huán)境相關(guān)。

        AFM5500M 專用原子力顯微鏡工作站
        OSWindows7
        RealTune?II自動(dòng)調(diào)節(jié)懸臂振幅、接觸力、掃描速率以及信號(hào)反饋
        操作畫面操作導(dǎo)航功能、多窗口顯示功能(測試/分析)、3D圖像疊加功能、掃描范圍/測量履歷顯示功能、數(shù)據(jù)批處理分析功能、探針評(píng)估功能
        X, Y, Z掃描驅(qū)動(dòng)電壓0~150 V
        時(shí)時(shí)測試(像素點(diǎn))4畫面(**2,048 x 2,048)
        2畫面(**4,096 x 4,096)
        長方形掃描2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1,024:1
        分析軟件3D顯示功能、粗糙度分析、截面分析、平均截面分析
        自動(dòng)控制功能自動(dòng)更換懸臂、自動(dòng)激光對(duì)中
        大小?重量340 mm(W) x 503 mm(D) x 550 mm(H)、約 34 kg
        電源AC100 ~ 240 V ±10% 交流
        測試模式標(biāo)配:AFM、DFM、PM(相位)、FFM 選配:SIS形貌、SIS物理特性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM(AC)、EFM(DC)、MFM
        • * WINDOWS 是、美國 Microsoft Corporation 在美國及美國以外國家注冊(cè)商標(biāo)。

        • * RealTune是日立高新科學(xué)公司在日本、美國以及歐洲的注冊(cè)商標(biāo)。

        選配項(xiàng):SEM-AFM聯(lián)用系統(tǒng)
        可適用的日立SEM型號(hào)SU8240、SU8230(H36 mm型)、SU8220(H29 mm型)
        樣品臺(tái)大小41 mm(W) x 28 mm(D) x  16 mm (H)
        **樣品尺寸Φ20 mm x 7 mm
        對(duì)中精度±10 μm (AFM對(duì)中精度)



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        售后服務(wù)

        10分

        易用性

        10分

        性價(jià)比

        10分
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