功率(kw):
-重量(kg):
-規(guī)格外形(長*寬*高):
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公斤級粉末原子層沉積鍍膜系統(tǒng)
詳情介紹:
KG 系列粉末ALD包覆設備可用于電池、催化劑、磁性材料等材料的高精度包覆量產(chǎn)。
該系統(tǒng)能夠包覆原子層級到納米層級的范圍內(nèi)的厚度,具有超高靈敏度、均一性和重復性, 并具有高自動化程度,操作方便、擴展靈活。
技術參數(shù):
均一性 < 3%
工藝溫度 RT-300℃
極限壓力 < 500mTorr
罐體容積近60L,百公斤級別/批次
1、樣品裝載量最大每批次可達百公斤,大幅降低生產(chǎn)制造成本;
2、立式提料分散,配合底部進氣方案,保證粉體與前驅(qū)體充分接觸,有效提高包覆均勻性和高覆蓋率;
3、可提升量子點、鋰電池、催化劑等的循環(huán)壽命、安全性以及耐溫耐壓性。