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        1200℃預(yù)加熱滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
        1200℃預(yù)加熱滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

        參考價格

        20-30萬元

        型號

        1200℃預(yù)加熱滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

        品牌

        中環(huán)

        產(chǎn)地

        天津

        樣本

        暫無
        天津中環(huán)電爐股份有限公司

        金牌會員

        |

        第11年

        |

        生產(chǎn)商

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        PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。

         

        產(chǎn)品組成:

        PECVD系統(tǒng)配置:

        1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐

        2.滑動系統(tǒng)分為手動、電動滑動,并配置管內(nèi)測溫系統(tǒng)。

        3.預(yù)加熱開啟式管式電爐

        4.等離子射頻電源

        5.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

        6.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)  

         

        產(chǎn)品特點:

        生長溫度低;沉積速率快;成膜質(zhì)量好,適用范圍廣,設(shè)備簡單。

         



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        1200℃預(yù)加熱滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)信息由天津中環(huán)電爐股份有限公司為您提供,如您想了解更多關(guān)于1200℃預(yù)加熱滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)報價、型號、參數(shù)等信息,歡迎來電或留言咨詢。
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