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            1200℃預(yù)加熱滑動(dòng)雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
            1200℃預(yù)加熱滑動(dòng)雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

            參考價(jià)格

            20-30萬(wàn)元

            型號(hào)

            1200℃預(yù)加熱滑動(dòng)雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

            品牌

            中環(huán)

            產(chǎn)地

            天津

            樣本

            暫無(wú)
            天津中環(huán)電爐股份有限公司

            金牌會(huì)員

            |

            第12年

            |

            生產(chǎn)商

            工商已核實(shí)

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            PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。

             

            產(chǎn)品組成:

            PECVD系統(tǒng)配置:

            1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐

            2.滑動(dòng)系統(tǒng)分為手動(dòng)、電動(dòng)滑動(dòng),并配置管內(nèi)測(cè)溫系統(tǒng)。

            3.預(yù)加熱開啟式管式電爐

            4.等離子射頻電源

            5.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

            6.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)  

             

            產(chǎn)品特點(diǎn):

            生長(zhǎng)溫度低;沉積速率快;成膜質(zhì)量好,適用范圍廣,設(shè)備簡(jiǎn)單。

             



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