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        1200℃滑動(dòng)式單溫區(qū)/雙溫區(qū)/三溫區(qū)CVD系統(tǒng)
        1200℃滑動(dòng)式單溫區(qū)/雙溫區(qū)/三溫區(qū)CVD系統(tǒng)

        參考價(jià)格

        20-30萬(wàn)元

        型號(hào)

        1200℃滑動(dòng)式單溫區(qū)/雙溫區(qū)/三溫區(qū)CVD系統(tǒng)

        品牌

        中環(huán)

        產(chǎn)地

        天津

        樣本

        暫無(wú)
        天津中環(huán)電爐股份有限公司

        金牌會(huì)員

        |

        第11年

        |

        生產(chǎn)商

        工商已核實(shí)

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        核心參數(shù)
        • 非金屬電熱元件:

          其他
        • 金屬電熱元件:

          其他
        • 燒結(jié)氣氛:

          其他
        • 溫控精度:

          ±1℃
        • 最高溫度:

          1200
        • 額定溫度:

          1200
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        產(chǎn)品用途:

        此款CVD系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控

        生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)真空淬火退火,快速降溫等工藝實(shí)驗(yàn)。

         

        產(chǎn)品組成:

        CVD系統(tǒng)配置:

        1.1200度開(kāi)啟式真空管式爐(可選配多溫區(qū))。

        2.滑動(dòng)系統(tǒng)分為手動(dòng)、電動(dòng)滑動(dòng),并配有風(fēng)冷系統(tǒng)。

        3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

        4.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)    

         

        產(chǎn)品特點(diǎn):

        控制電路選用模糊PID程控技術(shù),該技術(shù)控溫精度高,熱慣性小,溫度不過(guò)沖,性能可靠,操作簡(jiǎn)單。


        中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動(dòng)控制功能,高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng),耐沖擊分子泵,防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長(zhǎng)系統(tǒng)使用壽命。

        (電動(dòng))滑動(dòng)系統(tǒng)采用溫度控制器自動(dòng)控制爐體移動(dòng),等程序完成,爐體按設(shè)定的速度滑動(dòng),因有滑動(dòng)限位功能爐體不會(huì)發(fā)生碰撞,待樣品露出爐體后,通過(guò)風(fēng)冷系統(tǒng)快速降溫。




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