參考價格
20-30萬元型號
1200℃滑動式單溫區(qū)/雙溫區(qū)/三溫區(qū)CVD系統(tǒng)品牌
中環(huán)產(chǎn)地
天津樣本
暫無非金屬電熱元件:
其他金屬電熱元件:
其他燒結(jié)氣氛:
其他溫控精度:
±1℃最高溫度:
1200額定溫度:
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產(chǎn)品用途:
此款CVD系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控
生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)真空淬火退火,快速降溫等工藝實驗。
產(chǎn)品組成:
CVD系統(tǒng)配置:
1.1200度開啟式真空管式爐(可選配多溫區(qū))。
2.滑動系統(tǒng)分為手動、電動滑動,并配有風(fēng)冷系統(tǒng)。
3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
4.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)
產(chǎn)品特點:
控制電路選用模糊PID程控技術(shù),該技術(shù)控溫精度高,熱慣性小,溫度不過沖,性能可靠,操作簡單。
中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動控制功能,高真空系統(tǒng)采用高壓強,耐沖擊分子泵,防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長系統(tǒng)使用壽命。
(電動)滑動系統(tǒng)采用溫度控制器自動控制爐體移動,等程序完成,爐體按設(shè)定的速度滑動,因有滑動限位功能爐體不會發(fā)生碰撞,待樣品露出爐體后,通過風(fēng)冷系統(tǒng)快速降溫。
暫無數(shù)據(jù)!
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