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| 綜合型分析探針臺(tái) | ||||
| 型號(hào) | SH-6 | SH-8 | SH-12 | |
| 外形 | 820mm長(zhǎng)*720mm寬*890mm高 | 960mm長(zhǎng)*850mm寬*900mm高 | 1300mm長(zhǎng)*920mm寬*920mm高 | |
| 重量 | 170公斤 | 約230公斤 | 約300公斤 | |
| 電力需求 | 220VC,50~60Hz | |||
| 樣品臺(tái) | 尺寸 | 6英寸，可360度旋轉(zhuǎn) | 8英寸，可360度旋轉(zhuǎn) | 12英寸，可360度旋轉(zhuǎn) |
| 行程 | X-Y行程6*6英寸 | X-Y行程8*8英寸 | X-Y行程12英寸*12英寸 | |
| 移動(dòng)精度 | 1um | |||
| 樣品固定方式 | 真空吸附 | |||
| 背電極測(cè)試功能 | 有，樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空 | |||
| 針座平臺(tái) | 規(guī)格 | U型平臺(tái)，*多可放置6個(gè)針座 | U型平臺(tái)，*多可放置10個(gè)針座 | U型平臺(tái)，*多可放置12個(gè)針座 |
| 行程&調(diào)節(jié)方式 | 平臺(tái)可以快速升降，行程 6mm,并帶自動(dòng)鎖定功能;可以上下微調(diào)，行程25mm，升降精度1um | |||
| 光學(xué)特性 | 顯微鏡行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm | ||
| 顯微鏡移動(dòng)精度 | 1um | |||
| 切換鏡頭方式 | 顯微鏡快速傾仰30度 | |||
| 放大倍數(shù) | 20~4000X | |||
| 鏡頭規(guī)格 | 目鏡：10X；物鏡：5X,10X,20X,50X,100X（選配） | |||
| CCD像素 | 50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字） | |||
| 點(diǎn)針規(guī)格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | ||
| 機(jī)械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | |||
| 漏電精度 | 10pA/100fA （配置屏蔽箱時(shí)） | |||
| 接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口 | |||
| 應(yīng)用方向 | 晶圓測(cè)試，光電器件測(cè)試，PCB/封裝器件測(cè)試，射頻測(cè)試，高壓/大電流測(cè)試等 | |||
| 可選附件 | 卡盤快速拉出裝置 | 加熱臺(tái) | 光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試選件 | |
| 顯微鏡傾仰裝置（傾仰30度） | 高低溫樣品臺(tái) | 射頻測(cè)試附件 | ||
| 顯微鏡氣動(dòng)升降裝置 | 屏蔽箱 | 有源探頭 | ||
| 激光微加工 | 轉(zhuǎn)接頭 | 低電流/電容測(cè)試 | ||
| 探針卡夾具 | 防震臺(tái) | 兼容積分球測(cè)試選件 | ||
| 顯微鏡暗場(chǎng)/DIC/Normarski 檢測(cè)光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試接口部件 | 鍍金卡盤 | 光纖夾具耦合測(cè)試選件 | ||
| 液晶熱點(diǎn)偵測(cè)套裝 | 同軸叁軸卡盤 | 封裝器件夾具 | ||
| 高壓/大電流測(cè)試套裝 | 樣品臺(tái)快速升降，微調(diào)升降裝置選件 | PCB/封裝夾具測(cè)試選件 | ||
| 帶真空底座的活動(dòng)Chuck | 樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)微調(diào)選件 | 特殊定制 | ||
| 特點(diǎn) | ||||
| 穩(wěn)定的結(jié)構(gòu) | 同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng) | |||
| 針座平臺(tái)可快速升降和微調(diào)，適合針卡測(cè)試 | 大手柄驅(qū)動(dòng)，操作舒適，無(wú)回程差設(shè)計(jì) | |||
| 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng) | 芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測(cè)試 | |||
| 高等院校/研究所/公司實(shí)驗(yàn)室使用 | LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試 | |||
| **可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試 | 材料/器件的IV/CV特性測(cè)試 | |||
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