編號:NMJS03129
篇名:金剛石、碳納米管、碳納米管/納米金剛石復合物的制備及生長機制研究
作者:秦宏宇; 徐強; 楊光敏;
關(guān)鍵詞:金剛石; 碳納米管; 碳納米管/納米金剛石的復合物; 等離子體增強化學氣相沉積;
機構(gòu): 長春工程學院勘查與測繪工程學院; 長春師范學院物理學院;
摘要: 采用PECVD技術(shù),通過對基片使用不同的預處理方法和沉積參數(shù),合成了金剛石、碳納米管及碳納米管/納米金剛石復合物.利用SEM,TEM,拉曼光譜對樣品的形貌、成分和結(jié)構(gòu)進行了研究.結(jié)果表明,在制備樣品的過程中,基片的預處理方法和CH4/H2流量比至關(guān)重要,它們將影響所制得樣品的晶粒大小、形核密度以及微觀結(jié)構(gòu).