編號：CSJS00042
篇名：用于納米測量的集成化單頻激光干涉儀
作者：李立艷； 王堅； 韓春陽； 苑勇貴； 吳冰； 楊軍； 苑立波；
關鍵詞：測量； 激光干涉儀； 納米測量； 差動干涉； 光路集成化；
機構： 哈爾濱工程大學理學院光子科學與技術研究中心；
摘要： 研究了一種基于偏振光的集成式單頻激光干涉儀。利用偏振光學變換方法,實現了干涉儀的光學4細分結構,提高了測量靈敏度;構建4路正交探測結構,實現了干涉儀的無源偏振調制,擴大了干涉儀測量范圍;采用光路集成化的設計方法,實現了一體化干涉儀光路集成。對激光干涉儀進行振動測量實驗研究,結果表明,靜態(tài)位移測量誤差小于±0.3 nm,振動測量的分辨率達10 pm/Hz1/2;上述集成單頻激光干涉儀具有測量精度高、穩(wěn)定性好、動態(tài)范圍寬、受環(huán)境影響小等優(yōu)點,可被廣泛用于納米測量的各個領域。
