編號：NMJS01547
篇名：納米晶體鈦基摻鉭TiO_2薄膜的摩擦磨損性能
作者：于春杭； 邵紅紅； 許曉靜； 翟瑞；
關(guān)鍵詞：材料表面與界面； 摻鉭TiO2薄膜； 磁控濺射； 納米晶體鈦； 摩擦磨損；
機構(gòu)： 江蘇大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院；
摘要： 采用室溫直流反應(yīng)磁控濺射技術(shù)在納米晶體鈦表面制備摻鉭TiO2薄膜,研究了摻Ta量對納米晶體鈦基TiO2薄膜摩擦磨損性能的影響。結(jié)果表明:在室溫模擬人體體液條件下,摻鉭TiO2薄膜與不銹鋼淬火鋼球（Φ4mm）對摩的磨損率為10-6-10-5mm3·m-1 N-1級;隨著Ta含量的增加,薄膜的摩擦系數(shù)和磨損率呈先減小后增加的趨勢,摻Ta量（質(zhì)量分?jǐn)?shù)）為22%Ta的TiO2薄膜具有最低的摩擦系數(shù)（0.20）和磨損率(1.5×10-6mm3·m-1·N-1。具有良好的抗磨性能與其硬度與彈性模量比高、抗腐蝕性強和摩擦系數(shù)低一致。
