編號：NMJS01533
篇名：微納米級表面微觀幾何形貌和粗糙度特性測量方法
作者：李成貴； 熊昌友；
關鍵詞：微納米表面； 表面粗糙度； 微觀幾何形貌； 測量方法；
機構(gòu)： 北京航空航天大學儀器科學與光電工程學院； 中航工業(yè)北京長城計量測試技術研究所；
摘要： 概述微納米級表面微觀幾何形貌和粗糙度特性的幾種測量方法和測量原理,如觸針法、光學法、原子力法等,并介紹市場上在用的幾類代表性表面形貌商用儀器(如粗糙度儀、輪廓儀、干涉儀、測量顯微鏡等)的特點、性能指標及應用范圍,對微納米級表面質(zhì)量測量和評價有參考價值。
