編號(hào):FTJS02018
篇名:石墨烯微電子材料潛在應(yīng)用研究
作者:翟譯晨;
關(guān)鍵詞:微電子材料; 石墨烯; 構(gòu)建器件;
機(jī)構(gòu): 長(zhǎng)春理工大學(xué)理學(xué)院;
摘要: 在硅電子材料即將發(fā)展到頂峰時(shí),石墨烯以其優(yōu)良的導(dǎo)體和半導(dǎo)體性質(zhì)將成為延續(xù)硅材料的主流微電子材料;詳述了石墨烯的結(jié)構(gòu)與電學(xué)性質(zhì),從而說(shuō)明其作為微電子材料的優(yōu)勢(shì),并列舉了在微電子器件構(gòu)建中已經(jīng)取得的成果及構(gòu)建器件的方法,簡(jiǎn)述了相應(yīng)石墨烯的制備方法. 更多還原