化學氣相沉積氮化鈦薄膜的研究

編號：FTJS10194

篇名：化學氣相沉積氮化鈦薄膜的研究

作者：王俊寶 肖維維 梁蘭菊 高炬

關鍵詞： TiN薄膜 化學氣相沉積 制備

機構： 棗莊學院光電工程學院

摘要： 氮化鈦薄膜材料具有優(yōu)良的性能,應用廣闊,總結(jié)了化學氣相沉積制備氮化鈦薄膜的方法和原理,介紹了化學氣相沉積在制備氮化鈦方面的應用現(xiàn)狀和研究成果,分析了各種化學氣相沉積方法的優(yōu)勢。