CrAlSiN納米復(fù)合涂層的制備與組織結(jié)構(gòu)表征

編號(hào)：TLHY00239

篇名：CrAlSiN納米復(fù)合涂層的制備與組織結(jié)構(gòu)表征

作者：王志超 王政權(quán) 孫帥 王菁 范其香

關(guān)鍵詞： 高功率脈沖磁控濺射技術(shù) 納米復(fù)合CrAlSiN涂層 相結(jié)構(gòu) 力學(xué)性能

機(jī)構(gòu)： 天津職業(yè)技術(shù)師范大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院

摘要： 采用Cr靶、Si靶和Al靶作為靶材,利用高功率脈沖磁控濺射系統(tǒng)在304不銹鋼和單晶硅片(100)基片表面沉積CrAlSiN納米復(fù)合涂層,并測(cè)定其顯微組織結(jié)構(gòu)和力學(xué)性能。結(jié)果表明,該納米涂層的主要相結(jié)構(gòu)為單一的fcc-(Cr,Al)相,結(jié)構(gòu)致密,與基體的結(jié)合力可達(dá)25N。