編號(hào)：FTJS03643
篇名：Stober法制備二氧化硅薄膜反應(yīng)動(dòng)力學(xué)
作者：商孟瑩； 蔣曉東； 劉淼； 羅炫； 唐永建； 曹林洪
關(guān)鍵詞：溶膠-凝膠； 反應(yīng)動(dòng)力學(xué)； 單分散二氧化硅； 轉(zhuǎn)化率； 反應(yīng)時(shí)間
機(jī)構(gòu)： 西南科技大學(xué)四川省非金屬?gòu)?fù)合與功能材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室-省部共建國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室培育基地； 西南科技大學(xué)極端條件物質(zhì)特性實(shí)驗(yàn)室； 中國(guó)工程物理研究院激光聚變研究中心
摘要： 通過研究正硅酸乙酯(TEOS)水解的反應(yīng)動(dòng)力學(xué),推導(dǎo)出Stber法制備二氧化硅溶膠體系中反應(yīng)時(shí)間與TEOS轉(zhuǎn)化率關(guān)系的動(dòng)力學(xué)公式。分析確定了合適的轉(zhuǎn)化率,進(jìn)而用于計(jì)算二氧化硅溶膠的理論最佳反應(yīng)時(shí)間。同時(shí),以正硅酸乙酯為硅源,采用溶膠凝膠法在氨水催化作用下制備了不同配比的二氧化硅溶膠,考察了氨和水的濃度對(duì)反應(yīng)時(shí)間的影響,結(jié)果表明,兩者濃度增大可以有效減少反應(yīng)時(shí)間。通過成膜性檢測(cè)確定制備過程中的最佳反應(yīng)時(shí)間,并與理論計(jì)算得到的最佳反應(yīng)時(shí)間進(jìn)行比較,結(jié)果表明,兩者一致,誤差控制在5%以內(nèi),說明該動(dòng)力學(xué)公式具有很好的適用性。
