編號：NMJS03407
篇名：納米SiO2拋光液的制備及在藍寶石拋光中的應(yīng)用
作者：張澤芳； 侯蕾； 閆未霞； 劉衛(wèi)麗； 宋志棠
關(guān)鍵詞：藍寶石； 氧化硅； 拋光； LED； 拋光液
機構(gòu)： 中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所,信息功能材料國家重點實驗室； 上海新安納電子科技有限公司
摘要： 制備一種納米氧化硅拋光液,采用掃描電子顯微鏡、激光粒度儀、顆粒計數(shù)儀等對其物性參數(shù)進行表征;使用該拋光液對LED藍寶石襯底進行機械化學(xué)拋光,采用輪廓儀、表面缺陷檢測設(shè)備、原子力顯微鏡等對拋光后的藍寶石襯底表面進行表征。結(jié)果表明,制備的納米氧化硅拋光液對LED藍寶石襯底具有優(yōu)異的拋光性能,拋光后的表面無劃傷、無腐蝕坑,且粗糙度小于0.2 nm
