編號：FTJS03346
篇名：基于陶瓷微熱板的高溫氣體傳感器研究
作者：薛嚴(yán)冰； 唐禎安；
關(guān)鍵詞：陶瓷微熱板； 激光微加工； 氣體傳感器； 靈敏度；
機(jī)構(gòu)： 大連交通大學(xué)電氣信息學(xué)院； 大連理工大學(xué)電子科學(xué)與技術(shù)學(xué)院；
摘要： 針對目前商用陶瓷氣體傳感器功耗大、封裝困難等缺點(diǎn),提出一種陶瓷微加工微熱板式氣體傳感器的結(jié)構(gòu)和無內(nèi)引線封裝的方式。通過光刻剝離的方法,在氧化鋁陶瓷基底上制作出Pt微加熱器及接觸電極。采用激光微細(xì)加工技術(shù),制作出不同結(jié)構(gòu)參數(shù)的陶瓷微熱板器件。從溫度同加熱功率的關(guān)系、熱響應(yīng)時(shí)間和微加熱器穩(wěn)定性等方面對微熱板進(jìn)行了測試和評價(jià)。結(jié)果表明,陶瓷微熱板具有較低功耗和高溫工作的優(yōu)勢,可穩(wěn)定工作的溫度達(dá)到600℃。作為熱板的高溫應(yīng)用之一,研制了CH4氣體傳感器,在500℃的工作條件下,對CH4氣有很好響應(yīng)靈敏度,且對CO干擾氣體基本無響應(yīng)。
