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?隨著我國科學技術(shù)和新型材料等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，高純氣體作為保護氣在超大規(guī)模集成電路、激光材料、光導纖維、航空航天材料等領(lǐng)域都有著重要的應(yīng)用。氧氣作為一種化學活性較強的物質(zhì)，其含量是檢測高純氣體質(zhì)量的重要指標，所以控制和檢測氧氣含量的關(guān)鍵因素是高純氣體作為保護氣。 在我國國家標準中，對高純氣體的質(zhì)量要求
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