合肥智熱裝備有限公司
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典型應(yīng)用
電子元器件、半導(dǎo)體晶圓等相關(guān)材料在真空環(huán)境下的燒結(jié)、退火工藝。
參數(shù)及特點(diǎn)
◆ 額定溫度:500℃;
◆ **溫度:700℃;
◆ 極限真空度:5×10-4Pa;
◆ 爐管材質(zhì):熔融石英;
◆ 有效尺寸:φ250×500mm(D×H);
◆ 溫度均勻性:±2℃;
◆ 具有超溫、停氣、電機(jī)過(guò)載、欠逆相等聲光報(bào)警保護(hù)功能。
產(chǎn)品細(xì)節(jié)展示
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