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名 稱：深圳市美格真空科技有限公司認(rèn) 證：工商信息已核實
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產(chǎn)品簡介
標(biāo)題：
美格小型氧化亞硅氣象沉積真空爐 小型氧化亞硅原料真空爐
技術(shù)參數(shù)：
裝料罐尺寸Φ200 * 800，裝料量0.025M3，，工作溫度１35０℃，極限溫度1600℃，溫差控制精度3℃，真空度0.1- 2.5pa，氣氛類別：Ar/N2，總功率35KW，工序時長24H/爐。
工藝特點：
三溫區(qū)設(shè)計，陶瓷內(nèi)膽，適用于動力電池負(fù)極材料（氧化亞硅等可氣相沉積材料）小批量生產(chǎn)用；溫差控制精度高，高溫高真空；具備脫水、混煉反應(yīng)、提純等工藝能力。反應(yīng)充分，成品率高（約95%），性能穩(wěn)定，主要元器件皆為進(jìn)口大品牌，保修期一年，售后服務(wù)高效、專業(yè)。
關(guān)鍵詞：
氣相沉積真空爐 氧化亞硅原料真空爐 氧化亞硅氣相沉積真空爐
氧化亞硅歸中反應(yīng) 氧化亞硅提純
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