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產品簡介
擴散爐是半導體生產線前工序的重要工藝設備之一，用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件
和光導纖維等行業(yè)的擴散，氧化，退火、合金和燒結等工藝。水平管式爐的設計考慮了硅片生產的多種工藝性能
需要，具有**生產能力和優(yōu)越的性能指標。
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