艾珍機(jī)械設(shè)備制造(上海)有限公司
已認(rèn)證
艾珍機(jī)械設(shè)備制造(上海)有限公司
已認(rèn)證
結(jié)構(gòu)形式 正排量風(fēng)機(jī)
體積流量 110 止于 15.570 m3/h
介質(zhì) 空氣 , 中性氣體 , 腐蝕性氣體
輸送 無油
FINAL VACUUM **表壓(單位:10^-5mbar)
PRESSURE DIFFERENCE **表壓(單位:10^-5 - 200mbar)
帶有密閉式驅(qū)動裝置的 AERZEN 鼓風(fēng)機(jī)經(jīng)過專門設(shè)計,可輸送中性(HM 設(shè)計)和腐蝕性(CM 設(shè)計)氣體,用于工業(yè)高真空技術(shù)。 此系列的特點是高能效和高可靠性。
AERZEN CM 系列共可選 14 種結(jié)構(gòu)尺寸,適用的理論進(jìn)氣流量范圍從 110 m3/h 到 15,340 m3/h,適用的壓力范圍在 10^-5 mbar **壓力以內(nèi)。 產(chǎn)品優(yōu)勢一覽:
通過 ATEX 0 區(qū)認(rèn)證(內(nèi)部)
4 種不同電機(jī)變體,實現(xiàn)**選擇
機(jī)械負(fù)載較高(高達(dá) 150 mbar),因此縮短了泵送時間
僅消耗極少水、氮和油
適用于凈室環(huán)境應(yīng)用
借助變頻器實現(xiàn)較大的控制范圍(從 1.450 到 7.400 rpm,或從 1.240 到 2.900 rpm)
可選擇縱向或水平輸送方向
AERZEN HM 系列可選 9 種結(jié)構(gòu)尺寸,在 10^-5 mbar 的**真空壓力條件下,適用的理論進(jìn)氣流量范圍從 406 m3/h 到 15,570 m3/h。 產(chǎn)品優(yōu)勢一覽:
4 種不同電機(jī)變體,實現(xiàn)**選擇
機(jī)械強(qiáng)度較高(HM 系列高達(dá) 230 mbar),因而大幅縮短泵送時間
耗水量、耗氮量低
適用于凈室環(huán)境應(yīng)用
借助變頻器實現(xiàn)較大的控制范圍,各項參數(shù)針對 AERZEN 密閉式電機(jī)鼓風(fēng)機(jī)進(jìn)行過調(diào)整,卓有成效
可選擇縱向或水平流動方向
三、性能:
AERZEN 密閉式電機(jī)鼓風(fēng)機(jī)大幅縮短泵送時間,從而提高了產(chǎn)量。 這是工藝優(yōu)化的一大進(jìn)步。
AERZEN 真空泵的殼體法蘭之處配有 O 形圈密封件。 風(fēng)機(jī)頭還有真空密閉性和空氣冷卻等其他重要優(yōu)勢。 由濺油潤滑裝置提供潤滑油。 礦物油和 PFPE 油都可以作為潤滑劑,PFPE 油通常用于半導(dǎo)體技術(shù)。 密閉式電機(jī)鼓風(fēng)機(jī)在輸送室和軸承室配有專用的矩形圓環(huán)—迷宮—密封件。 另外還安裝了一個配有冷凝通道的大尺寸中和室。 或者,中和室可以用密封氣體沖洗,以實現(xiàn)更強(qiáng)的密封效果。 一體化密閉式電機(jī)可確保對驅(qū)動軸的密封。 因此無需連接大氣的軸通道,從而可以從技術(shù)上實現(xiàn)明顯更高的轉(zhuǎn)速。
四、應(yīng)用:
帶有密閉式驅(qū)動裝置的 AERZEN 鼓風(fēng)機(jī)經(jīng)過專門設(shè)計,可輸送中性(HM 系列)和腐蝕性(CM 系列)氣體,專用于工業(yè)高真空技術(shù)。 密閉式電機(jī)鼓風(fēng)機(jī)始終結(jié)合前級泵使用*。
此前級泵在大氣壓力條件下開始運行。 通常在大約 50 至 200 mbar 的條件下連接密閉式電機(jī)鼓風(fēng)機(jī),然后泵送流程啟動。 根據(jù)應(yīng)用的不同,可以使用液環(huán)泵、滑片式真空泵、螺桿真空泵或鼓風(fēng)機(jī)作為前級泵。 配有 AERZEN 變頻器并使用專用參數(shù)集時,前級泵也可以在大氣壓力條件下運行。
半導(dǎo)體行業(yè)
微電子工業(yè)
平面屏幕制造
激光技術(shù)
太陽能技術(shù)
氦檢漏裝置
化學(xué)工藝技術(shù)
箔紙和玻璃噴漆
熔爐制造
氫的提取
*使用帶有密閉式驅(qū)動裝置的 AERZEN 真空鼓風(fēng)機(jī)時,必須配備額外的前級泵(多級系統(tǒng))。
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