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寧波瑞柯微智能科技有限公司
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FT-3110系列全自動四探針測試儀
一.功能描述：
四點探針法，全自動化運行測量系統(tǒng)，PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理；參照A.S.T.M 標準方法測試半導(dǎo)體材料電阻率和方塊電阻；可設(shè)定探針壓力值、測試點數(shù)、多種測量模式選擇；真空環(huán)境，可顯示：方阻、電阻率、顯示2D,3D掃描/數(shù)值圖、溫濕度值、提供標準校準電阻件. 報表輸出數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析.
二.適用范圍
晶圓、非晶硅/微晶硅和導(dǎo)電膜電阻率測量；選擇性發(fā)射極擴散片；表面鈍化片；交叉指樣PN結(jié)擴散片；新型電極設(shè)計，如電鍍銅電阻測量等；半導(dǎo)體材料分析，鐵電材料，納米材料，太陽能電池，LCD，OLED，觸摸屏等.
三.技術(shù)參數(shù)：
規(guī)格型號 | FT-3110A | FT-3110B |
1.電阻 | 10^-5～2×10^5Ω | 10^-6～2×10^5Ω |
2.方塊電阻 | 10^-5～2×10^5Ω/□ | 10^-6～2×10^5Ω/□ |
3.電阻率 | 10^-6～2×10^6Ω-cm | 10-7～2×106Ω-cm |
4.測試電流 | 0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA，
10mA，100mA | 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
5.電流精度 | ±0.1% | |
6.電阻精度 | ≤0.3% | |
7.PC軟件操作 | PC軟件界面：電阻、電阻率、電導(dǎo)率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、壓力、 報表生成等 | |
8.壓力范圍： | 探針壓力可調(diào)范圍：軟件控制,100-500g可調(diào) | |
9.探針 | 針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機械游移率：≤0.3% 圓頭銅鍍金材質(zhì)，探針間距1mm；2mm；3mm選配，其他規(guī)格可定制 | |
10.可測晶片 尺寸選購
| 晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）； 方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm | |
11.分析模式 | 單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的自動測試 | |
12.加壓方式 | 測量重復(fù)性：重復(fù)性≤3% | |
13.安全防護 | 具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報 | |
14.測試環(huán)境 | 真空 | |
15.電源 | 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<100W | |
16.選購項目 | 電腦和打印機 | |
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