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        安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

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        半導(dǎo)體前驅(qū)體提純儀/藥品提純儀/去金屬離子提純儀(量產(chǎn)級(jí))

        半導(dǎo)體前驅(qū)體提純儀/藥品提純儀/去金屬離子提純儀(量產(chǎn)級(jí))

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        產(chǎn)品介紹

        發(fā)布時(shí)間:2021/10/19     693人已觀看

        簡(jiǎn)介: 此款設(shè)備進(jìn)料端配置對(duì)面雙工位手套箱,手套箱內(nèi)配置軌道及操作平臺(tái),方便載料管的運(yùn)輸和裝料。升華機(jī)出料端配置雙面四工位手套箱,手套箱內(nèi)設(shè)置有軌道及升降操作平臺(tái)方便取料、封裝及運(yùn)輸手套箱可內(nèi)襯四氟或噴涂特氟龍起到防腐作用,半導(dǎo)體材料升華儀根據(jù)材料升華溫度、分子量的差異,對(duì)于材料進(jìn)行提純,參數(shù)準(zhǔn)確,工藝可靠穩(wěn)定,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,單次升華可大幅度降低有機(jī)材料中的雜質(zhì)金屬離子濃度,將材料的純度提升一至三個(gè)數(shù)量級(jí)。整個(gè)操作過程材料與大氣隔絕,避免了大氣中水、氧的影響以及灰塵的污染,是制備高純度半導(dǎo)體前驅(qū)體及相關(guān)材料的最佳選擇。 技術(shù)參數(shù): 設(shè)備總長(zhǎng)3800mm*1800mm*1850mm,爐體外殼采用鏡面 SUS304 不銹鋼。 石英外管尺寸:φ300X3000X5mm,高純石英材質(zhì)。 Max 加熱溫度:800℃;穩(wěn)溫精度:±1℃。 溫區(qū):8個(gè)溫區(qū),每個(gè)溫區(qū)上下個(gè)兩個(gè)控溫點(diǎn),共16個(gè)溫控點(diǎn) 爐膛材質(zhì):進(jìn)口氧化鋁陶瓷纖維 爐膛尺寸分布:150+700+200+320+320+320+200+150mm 加熱絲材質(zhì):進(jìn)口Kanthal電阻絲 顯示屏:22寸PC 極限真空(空態(tài)、常溫):5.0×10-5Pa 控制系統(tǒng):全自動(dòng)/半自動(dòng)/手動(dòng) 左端單工位手套箱連接左端法蘭,長(zhǎng)度: 1220mm;深度:750mm;高度: 900mm 右端對(duì)面雙工位手套箱連接右端法蘭,長(zhǎng)度: 2440mm;深度:1000mm;高度: 900mm

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