安徽貝意克設備技術有限公司
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BTF-1400C-II-OP-R多功能回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)是貝意克推出的一款代表產(chǎn)品。設備采用集成化設計,兩個溫區(qū)可獨立控制,最高使用溫度可達1400度,廣泛應用于科研院所和高端制造領域。
一設備特點:
1、此款設備提供一個雙溫區(qū)的溫場,兩個溫區(qū)可獨立控制。
2、保溫材料采用氧化鋁纖維防塵處理,爐膛可開啟。
3、加熱元件采用硅碳棒,最高使用溫度可以達到1400度,使用壽命長,溫場流場均勻。
4、采用觸摸屏和工控電腦自動控制,參數(shù)設置和操作直觀方便,參數(shù)自動記錄保持。
5、設備集成化設計、以及集成化管理,美觀方便。
二設備組成:
1、加熱系統(tǒng):
該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研溫,電力調(diào)制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù),無須操作人單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,適合中低溫度加熱系統(tǒng)。
高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負反饋控制系統(tǒng),控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控員的干預,可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號,同時系統(tǒng)設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求。
2、爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng):
爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動,轉(zhuǎn)速在0-60r/min連續(xù)可調(diào),且能在60r/min轉(zhuǎn)速下長時間運行。管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻。
3、供氣系統(tǒng):
供氣系統(tǒng)是一種可控制3種氣體按不同流量進氣的裝置,浮子流量計安裝于密封的可移動機柜內(nèi),由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。
4、真空系統(tǒng):
真空系統(tǒng)內(nèi)部安裝機械泵1臺,電阻真空計1套,并含有配套使用的波紋管,手動擋板閥,卡箍等連接部件。
三加熱主體設備技術參數(shù):
1、石英腔體尺寸:中間外徑?100* 端頭外徑?60*長度1400mm
2、剛玉腔體尺寸:φ60*1400mm
3、爐膛保溫材料:氧化鋁纖維
4、表面溫度:≤60℃
5、加熱元件:硅碳棒
6、加熱區(qū)數(shù)量:2區(qū),獨立控溫
7、加熱區(qū)長度:300+300mm
8、最高溫度:1400℃
9、長時間使用溫度:≤1300℃
10、控溫精度:±1℃
11、建議升溫速率:≤10℃/min
12、熱電偶型號:S型
13、金屬密封法蘭:磁流體密封法蘭
14、控制器:可編程控溫儀表,PID調(diào)節(jié),升、降保溫全自動
15、控溫方式:人機界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,數(shù)字工控儀表雙控,采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實現(xiàn)雙控,采用模糊型PID控制。
16、無紙記錄:內(nèi)置存儲記錄運行工藝數(shù)據(jù),外接USB接口可以電腦連接一鍵拷貝數(shù)據(jù)。
17、設備功率:10KW
18、設備工作電源:AC220V(L+N+PE)2P 63A空開 3x6mm2
四3路供氣系統(tǒng)參數(shù):
連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。
流量計類型:浮子流量計(3個),量程可選
最大壓力:3MPa
接口:Φ6
內(nèi)外雙拋不銹鋼管:Φ6
壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥:Φ6卡套接頭
五真空系統(tǒng)參數(shù):
真空系統(tǒng)內(nèi)部安裝機械泵1臺,電阻真空計1套,并含有配套使用的波紋管,手動擋板閥,卡箍等連接部件。
1、技術參數(shù):
空氣相對濕度:≤85%
工作電電壓:220V±10% 50~60HZ
功率:1千瓦
抽氣速率:10m3/h
實驗真空度:5.0X10-1Pa
容油量:1.1L
進氣口口徑:KF25
排氣口口徑:KF25
轉(zhuǎn)速:1450rpm
噪音:50dB
2、真空計參數(shù):
配用規(guī)管:ZJ-52T電阻規(guī)
測量范圍:10 5 ~10 -1 Pa
測量路數(shù):1路
控制范圍:5×10 3 ~5×10 -1 Pa
控制方式:繼電器觸點輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載
電源:90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz
功耗:20W
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