
馬爾文帕納科

已認證
馬爾文帕納科
已認證
XRD 系列
晶圓和鑄錠快速準確的晶向定位
從全自動的在線分析到晶圓材料的快速質量檢查,我們的晶向定位解決方案在
設計時考慮到了晶棒、鑄錠、切片和晶圓的全部應用場景。此系列產品利用
XRD分析技術在晶圓生產的全部流程中,提供簡單、快速、高精度的晶體定
向測量,大大提高產品良率。
Omega/Theta(XRD)
用于超快晶體定向的全自動垂直三軸XRD
10秒內完成定向
定向精度:0.003°
定向轉移技術:多鑄錠取向測定,實現(xiàn)高效切割
晶錠端面及定位邊定向和轉移夾具可選
光學測量工具可選,可測樣品直徑、平邊/V 槽位置、形狀、長度、深度
適應不同樣品的精密樣品轉盤、mapping臺和工裝夾具
搖擺曲線測量
DDCOM(XRD)
緊湊型超快晶體自動定向儀
10秒內完成定向
定向精度:0.01°
兩個閃爍探測器
專為方位角設置和晶向標記而設計
可測直徑為 8 mm 至**225 mm的晶圓和晶錠
無需水冷
SDCOM(XRD)
用戶友好的緊湊型多功能XRD
超快測量,10秒內返回結果
定向精度:0.01°
定向轉移技術:多鑄錠取向測定,實現(xiàn)高效切割
光學測量工具可選,可測樣品直徑、平邊/V 槽位置、形狀、長度、深度
樣品直徑1-200mm
無需水冷
XRD-OEM
在線晶體定向測定
標準工業(yè)接口,可集成到任何自動化或加工系統(tǒng)中
線切/研磨前對大型晶錠進行全自動在線定向
可內置于磨床和切割機等惡劣環(huán)境中使用
平邊/V槽的光學測量功能,如位置、形狀、長度、深度等
Wafer XRD 200 / 300
Wafer XRD 200
無縫融入生產線的全自動高速XRD
用于3-8英寸晶圓片
定向精度:0.003°
產能:100萬片/年
幾秒鐘內提供各種基本參數的關鍵數據,如晶體取向和電阻率、幾何特征(如 V 槽和平槽)、距離測量等
全自動處理和揀選晶圓片
Wafer XRD 300
用于300mm晶圓生產的高速XRD
超快速提供12英寸晶圓的晶體取向和幾何特征等
定向精度:0.003°
幾秒鐘內提供各種基本參數的關鍵數據,如晶體取向和電阻率、幾何特征(如 V 槽和平槽)、距離測量等
附加功能
晶圓面掃 鑄錠堆垛
自動化晶圓揀選 小樣品夾具
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企業(yè)名稱
馬爾文帕納科企業(yè)類型
有限責任公司(外國法人獨資)信用代碼
310000400417821法人代表
SIMONPAULEAGLE注冊地址
上海市閔行區(qū)元山路88弄9號成立日期
2005-03-22注冊資本
200萬(美元)有效期限
2005-03-22 至 2035-03-21經營范圍
一般項目:實驗分析儀器制造;儀器儀表制造;智能儀器儀表制造;專用設備制造(不含許可類專業(yè)設備制造);虛擬現(xiàn)實設備制造;氣體、液體分離及純凈設備制造;工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置制造;專用儀器制造;儀器儀表修理;環(huán)境監(jiān)測專用儀器儀表制造;通用設備制造(不含特種設備制造);其他通用儀器制造;專用設備修理;機械零件、零部件加工;機械設備租賃;特種設備銷售;軟件開發(fā);軟件銷售;機械零件、零部件銷售;環(huán)境監(jiān)測專用儀器儀表銷售;氣體、液體分離及純凈設備銷售;實驗分析儀器銷售;工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置銷售;電子產品銷售;機械設備銷售;技術服務、技術開發(fā)、技術咨詢、技術交流、技術轉讓、技術推廣;標準化服務;銷售代理;國內貿易代理;儀器儀表銷售;商務代理代辦服務;信息系統(tǒng)集成服務;智能儀器儀表銷售;企業(yè)管理;企業(yè)管理咨詢;信息技術咨詢服務;租賃服務(不含許可類租賃服務);工業(yè)酶制劑研發(fā);計量技術服務;數據處理和存儲支持服務;貨物進出口;技術進出口;進出口代理;企業(yè)總部管理。(除依法須經批準的項目外,憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經營活動) 許可項目:危險化學品經營;特種設備安裝改造修理;特種設備制造;Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ、Ⅴ類放射源銷售。(依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動,具體經營項目以相關部門批準文件或許可證件為準