中國粉體網(wǎng)訊 近日，國投創(chuàng)業(yè)完成對國內(nèi)高端半導(dǎo)體電子陶瓷與精密零部件領(lǐng)軍企業(yè)無錫海古德新技術(shù)有限公司（以下簡稱“海古德”）的領(lǐng)投。此次投資旨在推動高端半導(dǎo)體材料和設(shè)備精密零部件自主創(chuàng)新，加速實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代。
海古德是一家集高端半導(dǎo)體電子陶瓷及精密零部件的設(shè)計(jì)、研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為一體的現(xiàn)代化高新技術(shù)企業(yè)，核心產(chǎn)品包括陶瓷靜電卡盤、陶瓷基板、精密陶瓷部件等。
海古德產(chǎn)品系列
精密陶瓷部件：半導(dǎo)體設(shè)備中關(guān)鍵部件
精密陶瓷部件是使用氧化鋁陶瓷、氮化鋁陶瓷、碳化硅陶瓷等先進(jìn)陶瓷材料經(jīng)精密加工后制造的半導(dǎo)體設(shè)備零部件。先進(jìn)陶瓷材料在強(qiáng)度、精度、電學(xué)性能和耐腐蝕性等方面的優(yōu)異表現(xiàn)，能滿足真空、高溫等特殊環(huán)境下的半導(dǎo)體制造復(fù)雜性能要求。
精密陶瓷零部件廣泛應(yīng)用于光刻、刻蝕、薄膜沉積離子注入、CMP等多個半導(dǎo)體制造關(guān)鍵流程的核心設(shè)備中，如軸承、導(dǎo)軌、內(nèi)襯、靜電吸盤、機(jī)械搬運(yùn)臂等。尤其是在設(shè)備腔體內(nèi)部，發(fā)揮支撐、保護(hù)、導(dǎo)流等功能。
在高端光刻機(jī)中，為實(shí)現(xiàn)高制程精度，需要廣泛采用具有良好的功能復(fù)合性、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性、熱穩(wěn)定性、尺寸精度的陶瓷零部件，如E-chuck、Vacumm-chuck、Block、磁鋼骨架水冷板、反射鏡、導(dǎo)軌等，這些關(guān)鍵部件一般選用碳化硅陶瓷材料。
在刻蝕設(shè)備中，采用陶瓷材料制作的部件主要有窗視鏡，氣體分散盤，噴嘴，絕緣環(huán)，蓋板，聚焦環(huán)和靜電吸盤等。隨著芯片特征尺寸的減小和鹵素類等離子體能量的逐漸提高，刻蝕機(jī)工藝腔和腔體內(nèi)部件的耐等離子體刻蝕性能變得越來越重要。
海古德：持續(xù)擴(kuò)展泛半導(dǎo)體先進(jìn)陶瓷材料體系
海古德核心業(yè)務(wù)聚焦于氮化鋁、氮化硅和碳化硅三大前沿材料，憑借深厚的技術(shù)底蘊(yùn)與創(chuàng)新能力，公司成功研發(fā)出高性能氮化鋁陶瓷基板、高性能氮化硅陶瓷基板、靜電卡盤、加熱盤、全陶瓷加熱器、高純碳化硅精密陶瓷件等一系列半導(dǎo)體核心封裝材料和關(guān)鍵零部件，目前已在多家半導(dǎo)體設(shè)備制造企業(yè)實(shí)現(xiàn)批量化供應(yīng)，為國內(nèi)企業(yè)提供了穩(wěn)定可靠的國產(chǎn)替代方案。
據(jù)了解，2023年，海古德功率半導(dǎo)體（一期）項(xiàng)目竣工，該項(xiàng)目由無錫海古德投資50億元創(chuàng)建江蘇海古德半導(dǎo)體科技公司，新上六條流延線及排膠線，新購燒結(jié)爐、研磨機(jī)、激光粒度分析儀、氣相色譜儀等進(jìn)口設(shè)備，年產(chǎn)氮化鋁基板720萬片，氮化硅基板300萬片。
海古德團(tuán)隊(duì)在高性能電子陶瓷材料行業(yè)深耕多年，積累了豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)專長，在粉體配方、流延、成型、燒結(jié)等關(guān)鍵生產(chǎn)環(huán)節(jié)，形成了深厚的工藝沉淀和持續(xù)的技術(shù)創(chuàng)新能力，構(gòu)建了全方位的核心競爭優(yōu)勢。
借助本次投資，海古德將持續(xù)拓展泛半導(dǎo)體先進(jìn)陶瓷材料體系及應(yīng)用領(lǐng)域，致力于為客戶提供更加全面、優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品系列，不斷加大研發(fā)投入，深化技術(shù)創(chuàng)新，全力提升產(chǎn)品性能與服務(wù)質(zhì)量，以契合高端半導(dǎo)體電子陶瓷與精密零部件的日益增長且不斷升級的市場需求。通過本輪投資，國投創(chuàng)業(yè)將支持海古德擴(kuò)大半導(dǎo)體陶瓷零部件產(chǎn)能，加快高端半導(dǎo)體陶瓷和半導(dǎo)體核心陶瓷零部件的國產(chǎn)化進(jìn)程。
來源：國投創(chuàng)業(yè)、東臺高新區(qū)、粉體網(wǎng)
（中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青）
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