中國粉體網(wǎng)訊  4月2日，君原電子與東湖高新區(qū)簽約，將在光谷建設(shè)半導(dǎo)體靜電吸盤項(xiàng)目。

此次簽約項(xiàng)目落戶未來科技城光谷筑芯科技產(chǎn)業(yè)園，將建設(shè)靜電吸盤產(chǎn)線，就近為光谷集成電路企業(yè)提供靜電吸盤生產(chǎn)與維修服務(wù)。

靜電吸盤：半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件之一

靜電吸盤（ESC）又名靜電卡盤，廣泛應(yīng)用于集成電路制造工藝中，是離子注入、刻蝕、薄膜沉積、光刻機(jī)、量檢測設(shè)備等關(guān)鍵制程設(shè)備的核心零部件之一，也是半導(dǎo)體設(shè)備中價(jià)值比較高的部件之一。

作為離子注入、刻蝕等關(guān)鍵制程核心零部件之一，為滿足在高真空等離子體或特氣環(huán)境中起到對(duì)晶圓的夾持和溫度控制等作用的需要，需加入其他導(dǎo)電物質(zhì)使得靜電吸盤總體電阻率滿足功能性要求，還需在較低的燒結(jié)溫度下實(shí)現(xiàn)納米級(jí)陶瓷粉體快速致密化，靜電吸盤表面處理后還要達(dá)到0.01微米左右的涂層，才能制備出致密性高、晶體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、體電阻率分布均勻且符合靜電卡盤使用特性的專用陶瓷材料。因此，靜電吸盤（ESC）的制造需要對(duì)材料的導(dǎo)熱性，耐磨性及硬度指標(biāo)非常了解，對(duì)精密機(jī)加工和表面處理技術(shù)要求也很高。

按照材料劃分，靜電吸盤（ESC）分為氧化鋁陶瓷和氮化鋁陶瓷（一般應(yīng)用于靜電吸盤、加熱器）兩大類。陶瓷材料具有良好的導(dǎo)熱性，耐磨性及高硬度，且對(duì)比金屬材料在電絕緣性方面有著先天的優(yōu)勢。從技術(shù)層面來看，除所承載晶圓規(guī)格尺寸逐步增大之外，靜電吸盤（ESC）的發(fā)展趨勢主要表現(xiàn)為溫度均勻性控制需求提升，即分區(qū)溫控溫區(qū)數(shù)量逐漸提高。

近年來，隨著國家加大半導(dǎo)體領(lǐng)域的投入，我國半導(dǎo)體設(shè)備采購額逐年增加，推動(dòng)了包括靜電吸盤（ESC）在內(nèi)的核心部件的采購量增長。此外，隨著中國大陸晶圓產(chǎn)能的建設(shè)和擴(kuò)產(chǎn)，中國成為全球晶圓產(chǎn)能增長的重心，帶動(dòng)國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的需求增長，為國產(chǎn)靜電吸盤（ESC）的發(fā)展提供了良好的機(jī)遇。

關(guān)于君原電子

根據(jù)公開資料顯示，君原電子成立于2020年，公司是由中國大陸、臺(tái)灣、韓國和日本等地的集成電路資深人士聯(lián)合創(chuàng)立的半導(dǎo)體材料和零部件生產(chǎn)企業(yè)，主要業(yè)務(wù)包括生產(chǎn)高品質(zhì)的靜電吸盤、高頻電源模塊、刻蝕氣體和化學(xué)氣相沉積（CVD）材料等半導(dǎo)體設(shè)備相關(guān)產(chǎn)品。其中，靜電吸盤是其核心產(chǎn)品之一，具備半導(dǎo)體靜電吸盤（ESC）從研發(fā)到量產(chǎn)的全流程能力。公司產(chǎn)品線實(shí)現(xiàn)對(duì)14nm（及以上）的主要刻蝕機(jī)臺(tái)靜電吸盤產(chǎn)品的全覆蓋，產(chǎn)品已經(jīng)在國內(nèi)12寸和8寸集成電路領(lǐng)域企業(yè)中獲得應(yīng)用。

君原電子總經(jīng)理王繼增表示，項(xiàng)目落戶光谷，將進(jìn)一步拉近與光谷集成電路企業(yè)的距離，降低物流成本，提高產(chǎn)品應(yīng)用效率。未來公司將與當(dāng)?shù)禺a(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)協(xié)同合作，不斷突破半導(dǎo)體靜電吸盤技術(shù)，力爭成為全球技術(shù)領(lǐng)先的集成電路核心零部件供應(yīng)商。

來源：中國光谷、粉體網(wǎng)、芯慧通Chipisc

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青）

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