中國粉體網(wǎng)訊 我國于1963年成功研制出第一顆人造金剛石,經(jīng)過多年發(fā)展,中國金剛石行業(yè)已形成完整而龐大的工業(yè)體系。
三磨所培育的CVD鉆石,來源:國機集團
金剛石向中高端躍進
從產(chǎn)業(yè)規(guī)模來看,中國人造金剛石單晶產(chǎn)量占全球的95%。2022年美國進口人造金剛石中,中國金剛石占比達到78%;歐盟28國進口人造金剛石中,中國金剛石占比達到75%;印度進口人造金剛石中,中國金剛石占比達到90%;日本進口人造金剛石中,中國金剛石占比達到81%。
來源:《中國人造金剛石產(chǎn)業(yè)地圖(2023年)》,孫兆達演講
從具體應(yīng)用來看,根據(jù)中國機床工具工業(yè)協(xié)會統(tǒng)計,我國超硬材料(含上下游)產(chǎn)值已位居世界首位并突破千億元規(guī)模,磨料級人造金剛石產(chǎn)量突破200億克拉,全球占比超過95%,其上游專用制造設(shè)備六面頂壓機幾乎全由我國供應(yīng),專用MPCVD設(shè)備約占全球50%;立方氮化硼約6億克拉,全球占比約75%,大尺寸人造金剛石單晶產(chǎn)量突破1500萬克拉,全球占比約50%,復(fù)合超硬材料也達到50%以上;下游金剛石線鋸全球占比達到95%以上,石材和陶瓷領(lǐng)域用金剛石切磨拋制品全球占比達到60%以上。
人造金剛石作為結(jié)構(gòu)性材料,主導(dǎo)著金剛石工具市場,其高效、精密且環(huán)保的特質(zhì),使其成為航空航天、汽車制造及電子信息等關(guān)鍵領(lǐng)域的核心工具,被譽為現(xiàn)代工業(yè)的基石。盡管在聲、光、電、磁、熱等多個高科技領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大潛力,如半導(dǎo)體器件、熱管理材料、光學(xué)應(yīng)用及環(huán)保醫(yī)療等,但當(dāng)前人造金剛石的應(yīng)用仍主要集中于結(jié)構(gòu)性材料,占比高達90%以上,而功能化應(yīng)用的份額尚不足10%,預(yù)示著未來廣闊的發(fā)展空間和機遇。
來源:《中國人造金剛石產(chǎn)業(yè)地圖(2023年)》,孫兆達演講
目前,人造金剛石經(jīng)歷了從傳統(tǒng)磨料到首飾級金剛石的演進,完成了從工業(yè)到消費級市場的滲透,需求端景氣度持續(xù)向上。接下來如何繼續(xù)向中高端躍遷?答案已經(jīng)浮出水面,就是功能性金剛石。
金剛石材料的性能
具體來看,金剛石半導(dǎo)體具有超寬禁帶(5.45eV)、高擊穿場強(10MV/cm)、高載流子飽和漂移速度、高熱導(dǎo)率(2000W/m·k)等材料特性,有望成為“終極半導(dǎo)體”;在電學(xué)方面,其絕緣性能和介電常數(shù)使其在復(fù)雜電路中發(fā)揮穩(wěn)定作用;在聲學(xué)上,金剛石在所有材料中具有最高的表面聲波速度和極高的楊氏模量;在光學(xué)上,金剛石可透過從遠紅外到紫外小于帶隙能量的光子;在熱學(xué)上,其導(dǎo)熱性超過銅,因此金剛石具有跨領(lǐng)域應(yīng)用的潛力;機械性能方面,高強度和耐磨性確保芯片能夠承受極端工作條件。
據(jù)市場調(diào)研機構(gòu)Virtue market數(shù)據(jù)指出,2023年全球金剛石半導(dǎo)體基材市場價值為1.51億美元,預(yù)計到2030年底市場規(guī)模將達到3.42億美元。在2024-2030年的預(yù)測復(fù)合年增長率為12.3%。其中,在中國、日本和韓國等國家電子和半導(dǎo)體行業(yè)不斷增長的需求的推動下,亞太地區(qū)預(yù)計將主導(dǎo)金剛石半導(dǎo)體襯底市場,到2023年預(yù)計將占全球收入份額的40%以上。
憑借著金剛石卓越的特性和廣闊的應(yīng)用前景,其在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中多個關(guān)鍵環(huán)節(jié)展現(xiàn)巨大潛力:
半導(dǎo)體封裝基板;迨锹阈酒庋b中熱傳導(dǎo)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。目前Al2O3陶瓷是產(chǎn)量最多、應(yīng)用最廣的陶瓷基片,但其熱導(dǎo)率((15-35W/ (m·K) ) )遠遠不能滿足目前高頻、大功率、超大規(guī)模集成電路中使用。
隨著微電子技術(shù)進步,高密度小型化趨勢加劇,組件熱流密度攀升,對基板材料要求劇增。高熱導(dǎo)率、高性能基片材料如AlN、Si3N4、SiC及金剛石等應(yīng)運而生。金剛石因高熱導(dǎo)、低熱脹、高穩(wěn)定,成封裝基板新星,其中,金剛石/金屬復(fù)合材料初露鋒芒,雖成本高、加工難,但其熱導(dǎo)優(yōu)勢顯著,吸引大廠研發(fā)。針對算力需求增長,金剛石基板創(chuàng)新散熱方案,助推AI、數(shù)據(jù)中心等領(lǐng)域飛躍。
熱沉與散熱。金剛石憑卓越熱導(dǎo)與絕緣性能成為高功率散熱首選,金剛石單晶熱沉片的熱導(dǎo)率是銅、銀的5倍。在半導(dǎo)體激光器中,金剛石熱沉片顯著提升散熱,減低熱阻,增強輸出功率,延長壽命。這一特性也使得金剛石在新能源汽車、工業(yè)控制等應(yīng)用領(lǐng)域的高功率IGBT模塊中也具有廣泛的應(yīng)用前景。
金剛石熱沉片,來源:曜世新材料
目前高功率半導(dǎo)體激光器普遍使用的散熱材料是氮化鋁熱沉,將其作為過渡熱沉燒結(jié)在銅熱沉上。但在熱導(dǎo)率要求1000~2000W/m·k之間時,金剛石是當(dāng)前首選甚至唯一可選的熱沉材料。金剛石用作熱沉材料主要有兩種形式,即金剛石薄膜和將金剛石與銅、鋁等金屬復(fù)合。
第三代半導(dǎo)體材料精密加工。第三代半導(dǎo)體材料如碳化硅、氮化鎵加工難度大,金剛石微粉及其產(chǎn)品憑其超硬特性成為加工利器,尤其在碳化硅晶體加工中不可或缺。隨著5G、物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)普及,消費電子精密加工需求激增,金剛石刀具與微粉制品為金屬、陶瓷等脆性材料提供高精度表面處理,加速行業(yè)技術(shù)革新與產(chǎn)業(yè)升級。
此外,金剛石在其他功能性應(yīng)用中“大展身手”,例如金剛石沒有保留的透光能力,也使它成為視窗,如紅外線夜視鏡或雷達罩的極品。金剛石具有高頻傳聲的特點,又使它成為擴音機振動膜的不二選擇;高靈敏的金剛石量子傳感器等等。
“賽道”已鋪開,玩家已布局
2019 年,國家發(fā)改委發(fā)布了《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄(2019 年本)》,鼓勵信息、新能源、國防、航空航天等領(lǐng)域高品質(zhì)人工晶體材料、制品和器件,功能性人造金剛石材料生產(chǎn)裝備技術(shù)開發(fā)等產(chǎn)業(yè)發(fā)展。2021 年,國家發(fā)改委對《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄(2019 年本)》進行更新,堅持對功能性人造金剛石材料生產(chǎn)裝備技術(shù)開發(fā)等產(chǎn)業(yè)發(fā)展進行鼓勵。
5月18,四方達“天璇功能性金剛石超級工廠”在鄭州經(jīng)開綜保區(qū)B區(qū)正式投產(chǎn),據(jù)介紹,這也是目前國內(nèi)最大的CVD金剛石單體工廠,功能性金剛石成品年產(chǎn)能超100萬克拉。
技術(shù)人員在生產(chǎn)線上操作設(shè)備,來源:河南日報
惠豐鉆石此前在投資者互動平臺表示,公司將加大功能性金剛石在半導(dǎo)體、散熱材料、 光學(xué)等新領(lǐng)域的應(yīng)用,開拓新的收入增長點,為公司長期可持續(xù)發(fā)展奠定基礎(chǔ);國機精工是國內(nèi)較早進行MPCVD法生長大單晶金剛石的機構(gòu),研制了MPCVD設(shè)備,摸索出MPCVD生長工藝,目前,散熱材料和光學(xué)窗口片已實現(xiàn)小批量銷售;沃爾德目前有MPCVD設(shè)備100臺左右,主要產(chǎn)品包括金剛石振膜聲學(xué)器件、金剛石熱沉材料、金剛石光學(xué)窗口、金剛石工具材料、硼摻雜金剛石膜涂層電極及制品、CVD培育鉆石等;岱勒新材的產(chǎn)品金剛石線及子公司岱華產(chǎn)品拋光液、清洗劑等在半導(dǎo)體或3C領(lǐng)域已有批量應(yīng)用。
產(chǎn)業(yè)化方面也是熱火朝天。碳基芯材科技(武威)有限公司MPCVD金剛石項目涼山開工;碳基芯材科技(烏海)有限公司MPCVD金剛石項目烏海開工;榮盛晶創(chuàng)新材料科技有限公司金剛石產(chǎn)業(yè)基地投產(chǎn),投產(chǎn)的是一期項目建設(shè)年產(chǎn)能二百萬克拉高品質(zhì)CVD金剛石功能材料制備基地;元素六(Element Six, E6)正在主導(dǎo)美國一個關(guān)鍵項目-開發(fā)使用單晶(SC)金剛石襯底的超寬帶高功率半導(dǎo)體。
在前沿科技研究方面,浙江大學(xué)林時勝教授利用MPCVD的方法成功制備出了硼氮共摻雜的塊體單晶金剛石,并成功實現(xiàn)了超導(dǎo)態(tài)和金屬態(tài);Diamond Foundry培育出了世界上第一個單晶金剛石晶片;華為與廈門大學(xué)與合作開發(fā)了基于反應(yīng)性納米金屬層的金剛石低溫鍵合技術(shù),成功將多晶金剛石襯底集成到 2.5D 玻璃轉(zhuǎn)接板封裝芯片的背面,并采用熱測試芯片(TTV)研究其散熱特性。
來源:
Carbontech:電力損耗僅1/50000!日本金剛石半導(dǎo)體逐近商業(yè)化
馬志斌:MPCVD金剛石的制備與應(yīng)用研究進展
半導(dǎo)體行業(yè)觀察:鉆石芯片,加速
36氪河南:培育白鉆第一人馮參軍,牽手長飛光纖推出金剛石芯片散熱中國方案
河南省品牌促進會:高質(zhì)量發(fā)展|中國人造金剛石產(chǎn)業(yè)地圖發(fā)布!
材料科學(xué)前沿、人造金剛石行業(yè)資訊
(中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青)
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