3月20日-22日，全球規(guī)模最大、規(guī)格最高的半導體業(yè)界盛會SEMICON China 2024在上海新國際博覽中心舉辦。作為中國尖端科學儀器裝備和真空技術的領先者，中科科儀聯(lián)合控股公司成都唯實、中科科美、蘇州科儀、科儀光電精彩亮相，展示多項電子光學和真空技術領域創(chuàng)新成果，與現(xiàn)場參會者探討半導體產(chǎn)業(yè)未來發(fā)展模式。

半導體產(chǎn)業(yè)不僅是信息技術產(chǎn)業(yè)的核心，更是支撐經(jīng)濟社會發(fā)展的戰(zhàn)略性、基礎性和先導性的產(chǎn)業(yè)，從日常生活中的家用電器、數(shù)碼電子，到更為高端的通信、醫(yī)療、航空航天等領域，都扮演著舉足輕重的角色，隨著5G、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能等新興技術的蓬勃發(fā)展，半導體產(chǎn)業(yè)更是迎來了前所未有的發(fā)展機遇，在這樣的背景下，SEMICON China 2024的盛大舉行，無疑為整個行業(yè)提供了一個展示與交流的重要平臺。

電子光學檢測儀器、真空獲得與檢測相關設備及核心零部件，是半導體器件高可靠性的重要保障。本次展會中科科儀重點展出了KYKY-EM8100型場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡、CXF-320/3001CV型與CXF-100/301CS型磁懸浮分子泵、ZQJ-3300型與ZQJ-3900型E-13系列氦質(zhì)譜檢漏儀、系列新型真空閥門以及真空系統(tǒng)整體解決方案，獲得現(xiàn)場專家學者和業(yè)界同仁的廣泛認可，眾多客戶前來交流互動，咨詢洽談。

掃描電子顯微鏡可應用于半導體產(chǎn)業(yè)鏈生產(chǎn)制造及應用的各個環(huán)節(jié)，能否清晰地觀測到生產(chǎn)工藝中缺陷的具體形貌和元素成分，成為解決工藝缺陷的關鍵因素。中科科儀在電子光學技術領域持續(xù)耕耘近60年，擁有雄厚的技術積淀和應用經(jīng)驗，其中具有自主知識產(chǎn)權(quán)的國產(chǎn)高分辨場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡KYKY-EM8100最佳分辨率優(yōu)于0.9nm，達到國際先進水平，掃描電子顯微鏡在硬質(zhì)電路板失效分析和檢測、陶瓷電容端頭檢測、半導體器件失效分析、微電子器件污染物鑒定、半導體器件線寬測量等方面有著廣泛應用，解決了我國半導體等高端裝備制造領域檢測設備依賴進口的“卡脖子”問題。

真空技術作為一門與應用科學緊密結(jié)合的現(xiàn)代基礎科學，在半導體行業(yè)有著廣泛的應用。磁懸浮分子泵是半導體裝備的核心零部件，應用于薄膜沉積、刻蝕、離子注入等關鍵工藝，提供超高真空環(huán)境，目前中科科儀的磁懸浮分子泵已通過多個設備廠商的工藝驗證，并批量應用。在真空檢漏方面，中科科儀推出E-13系列新型氦質(zhì)譜檢漏儀，具備檢測精度高、檢漏壓強大、啟動時間短、響應速度快等性能特點，擁有臺式、車式、便攜式、模塊式等多種產(chǎn)品類型，便于客戶靈活自由選擇。系列新型真空閥門服務于晶體生長、離子束刻蝕、薄膜沉積等多個核心工藝，性能優(yōu)異。此外，中科科儀的定制化真空系統(tǒng)整體解決方案，廣泛應用于半導體、航空航天、新能源、紅外與光電器件等領域。

全球半導體市場在人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、5G通訊數(shù)字化和智能化的浪潮下不斷快速發(fā)展，對半導體檢測設備和集成電路裝備核心零部件的需求日益旺盛。未來，中科科儀將繼續(xù)聚焦半導體市場需求，持續(xù)攻關電子光學及真空領域關鍵技術，搶占科技制高點，推動科技成果轉(zhuǎn)化與規(guī)模產(chǎn)業(yè)化，攻克高端科學儀器裝備與核心零部件關鍵領域“卡脖子”“空心化”問題，助力打好科技儀器設備國產(chǎn)化攻堅戰(zhàn)！