中國粉體網(wǎng)訊  碳化硅，要卷瘋了！中國碳化硅產(chǎn)業(yè)更是“卷”出強大，走出國門，國際大廠更是紛紛與國內(nèi)企業(yè)展開合作。隨著國內(nèi)外之間的合作，值得關(guān)注的是，國內(nèi)外碳化硅產(chǎn)品的標準有何差異？而對比差異補充不足對我國碳化硅產(chǎn)業(yè)發(fā)展極為重要。

來源：天域半導體

國內(nèi)外SiC產(chǎn)品標準化概況

碳化硅作為一種化學成分較為單一的無機化工原料，其相關(guān)的產(chǎn)品標準較少，多為碳化硅的化學分析標準及檢測標準。

1.國內(nèi)SiC產(chǎn)品標準化概況

中國目前已基本建成了一套由國家標準、行業(yè)標準和地方標準組成的碳化硅標準體系。目前現(xiàn)行的碳化硅相關(guān)國家標準共24項，行業(yè)標準共38項，地方標準共3項。我國現(xiàn)行的碳化硅產(chǎn)品技術(shù)標準只有1個，即GB/T 2480《普通磨料碳化硅》。

2.國外SiC產(chǎn)品標準化概況

從國外發(fā)達國家與組織碳化硅及其制品標準制定情況來看，國際標準化組織（ISO）現(xiàn)行的碳化硅及其制品相關(guān)標準共有6項；美國現(xiàn)行的碳化硅相關(guān)標準共有14項；歐洲現(xiàn)行的碳化硅相關(guān)標準共有49項；日本現(xiàn)行的碳化硅相關(guān)標準共有5項；俄羅斯現(xiàn)行的碳化硅相關(guān)標準共有8項。

現(xiàn)行的國外碳化硅相關(guān)產(chǎn)品標準有2個，即羅馬尼亞標準SR 5064《碳化硅》和俄羅斯標準GOST 26327《碳化硅磨料技術(shù)規(guī)范》。

對于碳化硅的的分類標準：ISO沒有給出碳化硅的分類標準；美國ASTM對纖維增強碳化硅的復合結(jié)構(gòu)給出了分類標準；俄羅斯對纖維增強碳化硅復合材料也給出了分類標準；截至目前，我國還沒有碳化硅相關(guān)的分類標準。

國內(nèi)外碳化硅產(chǎn)品標準對比研究

1.碳化硅產(chǎn)品分類

中國工業(yè)生產(chǎn)的碳化硅主要是黑色碳化硅（SiC含量約95%）和綠色碳化硅（SiC含量約97%以上）兩種。

磨料碳化硅分為陶瓷結(jié)合劑磨具、砂帶用黑碳化硅；陶瓷結(jié)合劑磨具、砂帶用綠碳化硅；有機結(jié)合劑磨具用黑碳化硅；有機結(jié)合劑磨具用綠碳化硅；手工打磨的砂頁用黑碳化硅；手工打磨的砂頁用綠碳化硅。

俄羅斯國家標準對碳化硅磨料分為綠色碳化硅和黑色碳化硅兩種。羅馬尼亞國家標準根據(jù)顏色將碳化硅分為綠色碳化硅（GC）和黑色碳化硅（GC）；根據(jù)碳化硅含量（SiC）分為優(yōu)質(zhì)碳化硅（S）和普通碳化硅（N）。

 中國國家標準GB與日本JIS、俄羅斯GOST標準綠碳化硅化學成分對比

2.碳化硅晶片

針對碳化硅晶片產(chǎn)品標準，目前我國國家標準有多個標準，國外無相關(guān)標準。有關(guān)缺陷測試方法，國內(nèi)有一個行業(yè)標準和一個團體標準。

對比種種標準來看：

（1）國外有關(guān)碳化硅標準都制定了碳化硅產(chǎn)品的理化性能標準，其指標要求比中國國家標準寬松。但在對外技術(shù)交流和貿(mào)易合作過程中，發(fā)現(xiàn)發(fā)達國家碳化硅生產(chǎn)企業(yè)和應用企業(yè)標準指標遠遠優(yōu)于其所在國家標準和我國國家標準。有些項目在我國國家標準和部分企業(yè)實際質(zhì)量控制中未列入檢測控制項目，如：振實密度、比表面積、清潔度、韌性、電導率等；

（2）針對碳化硅粒度砂與微粉產(chǎn)品，發(fā)達國家根據(jù)其用途不用，按照對口專用、精密化、綜合利用原則，分成了多種牌號專用產(chǎn)品，專用產(chǎn)品的企業(yè)標準指標要求也不同，使生產(chǎn)者和使用者找到了最佳結(jié)合點，產(chǎn)品產(chǎn)生了最大效益。

（3）從碳化硅磨料的化學分析方法標準比對和含碳化硅耐火材料化學分析方法標準比對結(jié)果看，我國國家標準的比對項目相較于美國、歐盟及日本等發(fā)達國家及地區(qū)而言較為完整，但也有個別項目沒有涉及，例如：碳化硅磨料的碳化硅、表面硅酸以及全硅等。

（4）從碳化硅晶片相關(guān)標準比對結(jié)果看，我國國家標準對碳化硅單晶拋光片以及晶片檢測方面制定了相關(guān)標準，而美國、歐盟、日本等發(fā)達國家及地區(qū)沒有涉及。針對碳化硅外延片表面缺陷的測試環(huán)境，我國國家標準相較于歐盟以及日本標準要求更高。

對策建議分析

1.優(yōu)勢與不足

國內(nèi)產(chǎn)品標準優(yōu)勢。目前國內(nèi)碳化硅材料供應基地全面掌握了高純碳化硅粉料制備工藝、4英寸高純半絕緣碳化硅單晶襯底的制備工藝，形成了從碳化硅粉料制備、晶體生長、晶片加工、外延驗證等整套碳化硅材料研制線，在國內(nèi)最早實現(xiàn)了高純度碳化硅單晶的商業(yè)化量產(chǎn)，高純碳化硅粉料純度和晶體良品率居于國際先進水平，徹底解決了國外對我國碳化硅封鎖的局面，實現(xiàn)了完全自主供應。

國內(nèi)產(chǎn)品標準不足。從產(chǎn)品來看，國內(nèi)碳化硅產(chǎn)品主要集中在中低端市場，真正用于高精尖科技，比如：高級研磨粉、精密電子元件等方面的碳化硅產(chǎn)品生產(chǎn)工藝技術(shù)還被國外壟斷；在碳化硅深加工產(chǎn)品上，對粒度砂和微粉產(chǎn)品的質(zhì)量管理不夠精細，產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性不夠，國內(nèi)產(chǎn)品技術(shù)含量低，與美國、日本、歐洲等發(fā)達國家及地區(qū)先進水平相比還有較大差距，國內(nèi)高端技術(shù)產(chǎn)品缺乏。

此外，西方發(fā)達國家從事該產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)時間早經(jīng)驗豐富，產(chǎn)品指標領(lǐng)先我國，且產(chǎn)品驗證周期長、產(chǎn)品技術(shù)壁壘難以打破，國內(nèi)產(chǎn)品難以進入國際市場。

最后，碳化硅屬于發(fā)展中產(chǎn)品，有較大的市場需求，但其工藝不成熟，標準也處于低發(fā)展狀態(tài)，例如：沒有統(tǒng)一的包裝標準，檢驗標準不完善等。

2.對策及建議

針對我國碳化硅產(chǎn)品發(fā)展存在的不足，提出了下述建議和對策：

（1）制定培育和扶持碳化硅產(chǎn)品的政策和實施細則。

（2）修訂完善碳化硅產(chǎn)品的質(zhì)量標準體系。

（3）借助科技力量，加強技術(shù)創(chuàng)新。

參考來源：

李景等：國內(nèi)外碳化硅標準比對分析

電子電力網(wǎng)：2023盤點，頭部碳化硅大廠的奮力進擊

電子發(fā)燒友：2023年國內(nèi)主要碳化硅襯底供應商產(chǎn)能現(xiàn)狀

電子新材料：已超103家!我國碳化硅材料產(chǎn)業(yè)將迎來“百團大戰(zhàn)"?

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青）

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