中國粉體網(wǎng)訊  近期，浙江奧博石英科技有限公司公布一項發(fā)明專利，專利名字為：一種半導(dǎo)體用高純石英制作工藝。

該工藝選擇1-丁基-3-甲基咪唑六氟磷酸鹽離子液體，可以實現(xiàn)石英的低溫熔融，在較低的溫度下將二氧化硅粉末轉(zhuǎn)化為離子液體溶液，然后通過調(diào)控溫度和壓力，使溶液冷卻凝固，得到高純石英。節(jié)省能量的消耗，保護環(huán)境避免污染，提高了石英的純度，提升其性能和穩(wěn)定性，防止石英材料的形狀和尺寸發(fā)生變化，從原來的幾十個小時的生產(chǎn)時間降低至五個小時左右，大幅提升了高純石英的生產(chǎn)效率。

具體來說，這種制作工藝包括以下步驟：

S1、原料準備：選用高純度的二氧化硅粉末作為原料，要求純度達到99.9%以上；

S2、進料和分級：采用氣流分級法，將二氧化硅粉末按照粒徑進行分級，將原料二氧化硅粉末通過進料系統(tǒng)送入氣流分級器，氣流速度1030米/秒，在氣流的作用下，顆粒會按照粒徑的大小進行分級。較大的顆粒會在上部分級出口排出，較小的顆粒會在下部分級出口排出；

S3、收集和再處理：分級出來的較大顆粒和較小顆粒需要分別進行收集，較大顆�？梢酝ㄟ^再磨細的方法進行再處理，以獲得更細的粉末，而較小顆粒可以通過進一步的過濾，去除存在的雜質(zhì)；

S4、重復(fù)分級：可以將較小顆粒再次進行氣流分級，以去除更小的顆粒和雜質(zhì)；

S5、離子混合物制作：在通過氣流分級的方法獲得更純凈的二氧化硅粉末中加入離子液體1-丁基-3-甲基咪唑六氟磷酸鹽，形成二氧化硅離子液體混合物；

S6、混合攪拌：使用攪拌設(shè)備將二氧化硅粉末和離子液體充分混合；

S7、加熱：采用高壓熔融爐將二氧化硅離子液體混合物加熱至400-600℃，壓力參數(shù)為200-250兆帕，使離子液體和二氧化硅粉末發(fā)生反應(yīng)，實現(xiàn)二氧化硅低溫熔化；

S8、冷卻：將熔融二氧化硅冷卻到-10℃至-20℃ ，冷卻過程中冷卻速率為50 -80℃/min，形成固態(tài)的高純石英坯體；

S9、精加工：高純石英坯體進行精加工，包括切割、研磨、拋光等以獲得所需的形狀、尺寸和表面質(zhì)量。

S10、清洗和檢測：對精加工后的高純石英制品進行清洗，以去除表面污染物，同時進行質(zhì)量檢測，包括檢測雜質(zhì)含量光學性能、機械性能。

參考來源：國家知識產(chǎn)權(quán)局、浙江奧博石英科技有限公司官網(wǎng)

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/星耀）

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