近年來,LED 越來越多地被應(yīng)用于普通照明,LED產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)爆發(fā)式增長并向大功率、高集成、密集化、小型化方向發(fā)展,LED 發(fā)光效率和使用壽命會隨結(jié)溫的增加而下降,所以散熱問題成為大功率LED進一步發(fā)展的瓶頸,受到廣泛的關(guān)注。
陶瓷基板,圖片來源:中電科四十三所
大功率LED熱傳導主要途徑是:PN結(jié)——外延層——封裝基板——外殼——空氣,所以封裝基板的選擇對LED散熱至關(guān)重要。陶瓷基板 (又稱陶瓷電路板) 具有熱導率高、耐熱性好、熱膨脹系數(shù)低、機械強度高、絕緣性好、耐腐蝕、抗輻射等特點,在電子器件封裝中得到廣泛應(yīng)用。
陶瓷基板的優(yōu)秀性能
陶瓷基板材料常見的主要有Al2O3、AIN、SiC、BN、BeO、Si3N4等,與其他基板材料相比,陶瓷基板在機械性質(zhì)、電學性質(zhì)、熱學性質(zhì)具有以下特點:
(1)機械性能。機械強度高,能用作為支持構(gòu)件;加工性好,尺寸精度高;表面光滑,無微裂紋、彎曲等。
(2)熱學性質(zhì)。導熱系數(shù)大,熱膨脹系數(shù)與Si和GaAs等芯片材料相匹配,耐熱性能良好。
(3)電學性質(zhì)。介電常數(shù)低,介電損耗小,絕緣電阻及絕緣破壞電高,在高溫、高濕度條件下性能穩(wěn)定,可靠性高。
(4)其他性質(zhì);瘜W穩(wěn)定性好,無吸濕性;耐油、耐化學藥品;無毒、無公害、α射線放出量;晶體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,在使用溫度范圍內(nèi)不易發(fā)生變化;原材料資源豐富。
常用的大功率LED陶瓷基板材料分類
陶瓷基板是以電子陶瓷為基底形成一個支撐底座的片狀材料,如今已成為大功率 LED 的結(jié)構(gòu)材料。
1、氧化鋁(Al2O3)基板
氧化鋁陶瓷是目前應(yīng)用最廣泛的陶瓷之一,不僅機械、熱、電性能較好,而且化學穩(wěn)定性高;另外,氧化鋁原料來源豐富,工藝成熟,價格較低,還可以按照要求加工成各種不同形狀,因此在大功率 LED 領(lǐng)域被大量應(yīng)用。使用氧化鋁陶瓷基板的LED最高溫度低于使用玻璃基板的LED,表明應(yīng)用氧化鋁陶瓷基板LED綜合性能較好。但由于其熱導率相對較低 (99% 氧化鋁熱導率約為 30 W/(m·K),熱膨脹系數(shù)較高,一般應(yīng)用在汽車電子、半導體照明、電氣設(shè)備等領(lǐng)域。
2、氮化鋁(AIN)基板
AlN陶瓷基板具有超高的導熱率,是氧化鋁陶瓷的8-10倍,實際生產(chǎn)的熱導率也可高達 200 W/(m·K),有利于LED 中熱量散發(fā),提高 LED 性能。
圖片來源:中電科四十三所
AlN陶瓷基板不僅有高熱導率,其絕緣性也很好,應(yīng)用于大功率LED時不需要絕緣處理,簡化了工藝。氮化鋁被公認為最具有發(fā)展?jié)摿Φ拇蠊β蔐ED基板材料,但氮化鋁沒有天然形成的,需要人工制造,高成本的原料和工藝使得氮化鋁陶瓷價格很高,這是制約氮化鋁基板發(fā)展的主要問題。如果能大幅度降低原料成本、實現(xiàn)低溫下致密化燒結(jié)并解決金屬化問題,氮化鋁陶瓷基板將會在大功率 LED 領(lǐng)域大面積應(yīng)用指日可待。
3、氧化鈹 (BeO) 基板
BeO 材料密度低,熱導率高,具有良好的綜合性能。但是,BeO 材料也存在一些不足:(1)BeO 陶瓷的熱導率不穩(wěn)定,其熱導率隨著溫度的升高而降低;(2)BeO 粉體具有毒性,對環(huán)境容易產(chǎn)生污染;(3)BeO 陶瓷抗腐蝕性很強,但是能被 KOH、NaOH、含酸性氧化物的玻璃以及堿金屬碳酸鹽溶液等腐蝕,制備條件和工藝需嚴格把關(guān)。
但在某些大功率、高頻半導體器件以及航空電子設(shè)備和衛(wèi)星通訊中,為了追求高導熱和理想高頻特性,仍在采用 BeO 陶瓷基片。
4、碳化硅(SiC)基板
碳化硅單晶的熱導率在室溫可高達 270 W/(m·K),是良好的導熱材料,而且其熱膨脹系數(shù)與常用的LED 沉底材料藍寶石的熱膨脹系數(shù)接近,還具備高彈性模量和相對低密度的優(yōu)點,SiC 的莫氏硬度為 9.75,機械強度高。綜述以上優(yōu)點,SiC 基板適合做大功率 LED 基板材料。
但是SiC 基板熱導率在高溫時會隨著溫度的升高明顯下降,嚴重影響產(chǎn)品性能。另外,不良的絕緣耐壓性也阻礙了其在 LED 領(lǐng)域中的發(fā)展;碳化硅的介電常數(shù)較高,會導致信號延遲,影響產(chǎn)品的可靠性。
綜上,碳化硅陶瓷基板性能較好,降低成本、完善制備工藝是今后研究的重點方向。
5、氮化硅 ( Si3N4)基板
與其他陶瓷基板材料相比,氮化硅具有一系列獨特的優(yōu)勢。Si3N4屬于六方晶系,有α、β和γ三種晶相,其中α-Si3N4單晶體沿a軸和c軸的理論熱導率分別為105W/m·K、225W/m·K;β-Si3N4單晶體沿a軸和c軸方向的理論熱導率分別是170W/m·K、450W/m·K。同時氮化硅具有高強度、高硬度、高電阻率、良好的抗熱震性、低介電損耗和低膨脹系數(shù)等特點,是一種理想的散熱、封裝和基板材料。制成的陶瓷基板具有非常好的理化性能、電氣性能和機械性能;具有高導熱系數(shù),高電流載荷,容易滿足第三代功率半導體器件的散熱需求;并且熱膨脹系數(shù)與大多數(shù)半導體材料匹配,因而使其器件的可靠性更優(yōu)異。
總結(jié)與發(fā)展
散熱是功率型電子元器件發(fā)展過程中的關(guān)鍵技術(shù)問題。鑒于大功率、小尺寸、輕型化已經(jīng)成為未來功率型電子元器件封裝的發(fā)展趨勢,陶瓷基板除了具有優(yōu)異的導熱特性之外,還具備較好的絕緣、耐熱、耐壓能力及與芯片良好的熱匹配性能,已成為中、高端功率型電子元器件封裝散熱之首選。陶瓷基板在大功率 LED 應(yīng)用還有提高,復合基板能充分運用陶瓷的高導熱性和絕緣性,綜合了各種材料的優(yōu)點,是未來大功率 LED 基板發(fā)展的方向。
參考來源:
鄺海:大功率LED中常用陶瓷基板研究
電子元器件與信息技術(shù):最適合LED的散熱基板——氮化鋁陶瓷基板
秦典成等:陶瓷基板表面金屬化研究現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢
(中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青)
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