中國粉體網(wǎng)訊 近日,深圳后浪實(shí)驗(yàn)室利用自主研發(fā)的直接濺射陶瓷基板(Direct Sputtering Ceramic Substrate,DSC)首次完成曝光、顯影、蝕刻等工藝實(shí)現(xiàn)IGBT線路雙面刻蝕,制備的IGBT基板銅層[更多]
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