中國粉體網(wǎng)訊 由于具備密度低、耐高溫、高比強、抗氧化、高化學穩(wěn)定性和高導熱性等一系列優(yōu)點,陶瓷已經(jīng)成為了半導體設(shè)備精密部件的常用材料。作為半導體生產(chǎn)設(shè)備的關(guān)鍵部件,精密陶瓷部件占整個半導體設(shè)備成本的10%以上,故其研發(fā)生產(chǎn)直[更多]
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