中國粉體網(wǎng)訊 碳化硅(SiC)是一種性能優(yōu)異的結(jié)構(gòu)陶瓷材料。碳化硅零部件,即以碳化硅及其復(fù)合材料為主要材料的設(shè)備零部件,其具備密度高、熱傳導(dǎo)率高、彎曲強(qiáng)度大、彈性模數(shù)大等特性,能夠適應(yīng)晶圓外延、刻蝕等制造環(huán)節(jié)的強(qiáng)腐蝕性、超高[更多]
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