推薦半導體設備的“核心力量”——碳化硅零部件

中國粉體網(wǎng)訊 碳化硅（SiC）是一種性能優(yōu)異的結構陶瓷材料。碳化硅零部件，即以碳化硅及其復合材料為主要材料的設備零部件，其具備密度高、熱傳導率高、彎曲強度大、彈性模數(shù)大等特性，能夠適應晶圓外延、刻蝕等制造環(huán)節(jié)的強腐蝕性、超高[更多]