中國粉體網(wǎng)訊 聚焦環(huán)是放置在晶圓外部、直接接觸晶圓的重要部件,通過將電壓施加到環(huán)上以聚焦通過環(huán)的等離子體,從而將等離子體聚焦在晶圓上以提高加工的均勻性。傳統(tǒng)的聚焦環(huán)由硅或石英制成,隨著集成電路微型化推進,集成電路制造對于刻蝕[更多]
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