中國(guó)粉體網(wǎng)訊 在先進(jìn)的大規(guī)模集成電路制造過(guò)程中有著幾百種工藝步驟,圓片需要在多達(dá)幾百種的工藝設(shè)備之間來(lái)回傳輸并進(jìn)行加工檢測(cè)。在加工過(guò)程中,圓片必須被十分平穩(wěn)、固定地安放在工藝設(shè)備上。圖片來(lái)源:海拓創(chuàng)新靜電吸盤(pán)結(jié)構(gòu)及工作原理傳[更多]
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