推薦臺積電減少螢石用量 與HF供應商用磷肥廢料生產(chǎn)電子級氫氟酸

中國粉體網(wǎng)訊 為確保制程關(guān)鍵材料「氫氟酸」穩(wěn)定供應并友善環(huán)境，臺積電宣布，已攜手供應商以磷肥廢料替代螢石，在不影響原有制程品質(zhì)的前提下成功產(chǎn)制氫氟酸。電子級氫氟酸主要應用于半導體制造過程的清洗和刻蝕等工序，它的純度和潔凈度對[更多]